[发明专利]基于结构光照明的面形测量装置和方法

摘要

基于结构光照明的面形测量装置和方法，属于光学显微成像与测量技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置，实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动，并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理，计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数，获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线，曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度，最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单，轴向扫描速度快，测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。

主权项

1.基于结构光照明的面形测量装置，其特征在于：包括结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块；所述结构光照明模块由两路照明光路组成，第一路照明光路按照光线传播方向依次为：科勒照明模块一(1)、振幅型正弦光栅一(2)和管镜一(3)；第二路照明光路按照光线传播方向依次为：科勒照明模块二(4)、振幅型正弦光栅二(5)和管镜二(6)；所述轴向扫描模块按照光线传播方向其一依次为：分光镜二(10)、分光镜一(7)、物镜一(8)、平面反射镜(9)、管镜三(11)、管镜四(12)、分光镜三(13)和物镜二(14)；所述探测模块按照光线传播方向依次为：管镜五(16)和CCD(17)；物镜二(14)的下方设置被测样品(15)。