[发明专利]一种用于真空镀膜的螺杆传送装置有效
| 申请号： | 201711219101.8 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108085647B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 宋振纶;胡方勤;丁雪峰;杨丽景;郑必长;张青科;姜建军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司;包头希迪瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 徐敏 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜的螺杆传送装置，包括：样品台，与真空镀膜设备的真空镀膜腔体配合；传送模块，安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区；动力源，固定在真空镀膜腔体外部；第一传动连接件，一端与所述动力源连接，另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接；其特征在于，所述传送模块包括：螺杆，转动安装在所述样品台上，所述螺杆的螺纹作为物料槽；光杆，安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料；第二传动连接件，一端与所述螺杆传动连接，另一端与所述由所述传动连接件可拆卸传动连接；本发明可实现一次多面镀膜，无需翻面，减少开箱和再次抽真空时间，大大提高了效率，且整体结构简单、加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 传动连接件 真空镀膜腔 传送模块 螺杆 可拆卸传动连接 螺杆传送装置 真空镀膜 真空镀膜设备 动力源连接 螺杆传动 转动安装 抽真空 动力源 镀膜区 上料区 物料槽 样品台 螺纹 镀膜 多面 翻面 光杆 开箱 伸入 传送 体内 外部 支撑 加工 配合 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空镀膜的螺杆传送装置，包括：样品台，放置于真空镀膜腔体内部；传送模块，安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区；动力源，固定在真空镀膜腔体外部；第一传动连接件，一端与所述动力源连接，另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接；其特征在于，所述传送模块包括：螺杆，转动安装在所述样品台上，所述螺杆的螺纹作为物料槽；光杆，安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料；第二传动连接件，一端与所述螺杆传动连接，另一端与所述第一传动连接件可拆卸传动连接。
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- 王书文;刘彩霞;沈丽霞 - 上海理工大学
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- 本发明涉及一种纳米涂层设备的电磁过滤装置，真空电弧的阴极与阳极之间产生电弧，在垂直于电弧阴极表面的附近产生等离子,在磁场的作用下，等离子体中的宏观粒子、中性原子和离子团被偏移到过滤屏幕上，而纯净的等离子体被偏移到更高磁场分量的位置，最终到达放置基体的转台，并沉积在基体上。本发明可以减少离子体中宏观粒子、离子团和中性原子在工件表面的沉积,同时确保电磁过滤后沉积粒子的离化率、提高等离子体在过滤屏幕中的有效传输,从而能将离子源产生等离子体中的宏观粒子、离子团和中性原子过滤干净，且经过电磁过滤后沉积粒子的离化率为100%，最终实现致密均匀、平整光滑、抗腐蚀性能好且与基体结合力很强的纳米涂层的制备。
- 真空离子镀膜设备视窗压紧机构-201920096634.X
- 高琳;王宇;白春阳 - 大连金泰正新科技有限公司
- 2019-01-22 - 2019-10-01 - C23C14/32
- 本实用新型属于一种真空离子镀膜设备视窗压紧机构，包括内六角螺钉，视窗前压法兰，视窗防压垫，胶圈，视窗玻璃，弹簧圈，视窗后法兰，螺帽；其特征在于视窗后法兰（7）焊接到视窗管（8）上，视窗后法兰（7）上有胶圈槽，槽内安装胶圈（4），胶圈（4）起到密封作用；在胶圈（4）上方放视窗玻璃（5），在视窗玻璃（5）上方放视窗防压垫（3），在视窗防压垫（3）上面安装视窗前压法兰（2）；安装完成后，用6个内六角螺钉（1）配合弹簧圈（6）穿过视窗前压法兰（2）固定到视窗后法兰（7）上锁紧；使视窗每个位置均匀受力。该实用新型结构简单，拆装方便快捷，有利于节省安装时间和延长视窗使用寿命。
- 一种集成电路pp膜耐湿性控制工艺-201910705643.9
- 刘志勇;谭剑;马路遥 - 南通新江海动力电子有限公司
- 2019-08-01 - 2019-09-27 - C23C14/32
- 本发明公开了一种集成电路pp膜耐湿性控制工艺，步骤一、将带有pp膜的基板的置于升温箱中，并提升温度至58‑69摄氏度，保持300‑450s，步骤二、转至真空箱，采用1500‑2500目的砂纸对pp膜进行表面挤压处理，挤压压强为35‑65pa。本发明中，对pp膜上的铝膜进行58‑69摄氏度温度软化，然后在真空度为25‑30Pa为真空箱内采用2000目的砂纸采用35‑65pa的压强进行挤压处理，pp膜表层形成密布凹坑状，方便后续涂层附着，转至离子涂层箱中，真空度为40Pa，进行SiO2镀膜，或者进行选取Si和SiO2的混合质量比例为1:3进行镀膜，镀膜时间为14s，镀膜完成后的SiO2镀膜的厚度为80μm，Si和SiO2混合膜厚度为80μm，断面检测致密度高，Si和SiO2可提高PP膜的耐腐蚀性和降低吸水性，电性能方面具有低损耗和低耗电。
- 一种阴极真空弧等离子体磁过滤装置及其应用-201810358050.5
- 廖斌;欧阳晓平;张丰收;张旭;吴先映 - 北京师范大学
- 2018-04-20 - 2019-09-27 - C23C14/32
- 本发明公开了一种阴极真空弧等离子体磁过滤装置，包括阳极筒(2)，阳极筒(2)上依次设置有第一强脉冲线包(201)和抑制线包(202)。该阴极真空弧等离子体磁过滤装置弧斑运动速度高，能明显减少因局部温升造成的大颗粒的喷射；沉积速率为现有技术条件下沉积速度的1‑3倍；由传统磁过滤技术的高斯分布变成在束斑直径范围内的均匀分布，厚度差小于10％，可大幅提高膜层的均匀性；在磁场配合下，源靶材尺寸为100mm时，等离子体的束斑可以实现300mm以上尺寸工件镀膜。
- 大口径圆台形靶材的高真空电弧稳弧装置及溅射方法-201810008801.0
- 叶伟 - 陕西理工大学
- 2018-01-04 - 2019-09-24 - C23C14/32
- 本发明公开的大口径圆台形靶材的高真空电弧稳弧装置，包括阴极靶、屏蔽板、永久磁铁、聚焦线圈、固定装置和弧电源，固定装置中部竖直固定有靶座，靶座外壁上还安装有屏蔽板支撑基座，屏蔽板支撑基座下面连接有屏蔽板，屏蔽板为圆环形且内部中空，阴极靶为圆台形、上端面开设有一圆柱形凹槽，凹槽内设置有永久磁铁，阴极靶穿过屏蔽板中心安装在靶座上，固定装置的两端向下竖直方向固定有聚焦筒，聚焦筒外壁上均匀缠绕着聚焦线圈，弧电源正、负极分别连接到屏蔽板和阴极靶，溅射时阴极靶的侧面和小端面同时发生弧光放电，均匀溅射出阴极靶材离子，本发明所设计的稳弧装置具有结构简单、镀膜质量高、电弧弧斑稳定性好、工作效率高、易于控制的优点。
- 一种电弧离子镀膜装置-201822141572.8
- 冯森;蹤雪梅;何冰 - 江苏徐工工程机械研究院有限公司
- 2018-12-20 - 2019-09-24 - C23C14/32
- 本实用新型公开了一种电弧离子镀膜装置，包括真空室、霍尔离子源、电弧离子源；电弧离子源采用脉冲放电的形式激发靶材，沉积温度低，涂层表面的光洁度好，能够在低温条件下对弹性体制品进行镀膜。装置有两个或多个电弧离子源，每个离子源与真空室侧壁成一定倾斜角度安装，能够保证镀膜的均匀性以及镀膜速率，满足产业化批量生产的需求。本实用新型具有镀膜温度低、镀膜均匀性好、镀膜速率高等优点。
- 一种超硬纳米复合刀具及其制作方法和应用-201910271748.8
- 郭光宇;陈金海;钟伟强 - 科汇纳米技术(深圳)有限公司
- 2019-04-04 - 2019-09-20 - C23C14/32
- 本发明公开一种超硬纳米复合刀具及其制作方法和应用，包括以下步骤：1）刀具清洗：保证刀具基体表面干燥、清洁；2）抽真空处理：将的刀具基体装夹在镀膜设备的转架上，并将转架放置在由Cr靶材、AlCr靶材组成的闭合镀膜设备中，同时对真空室进行抽真空处理，打开加热器升温，将镀膜设备中的温度控制在420℃至550℃；3）离子清洗：向真空室内通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗后，关闭氩气；4）制作结合涂层：开启Cr靶材和电弧，并控制电弧电流量为400A至800A，同时通入氮气，使得在刀具基体的表面沉积CrN结合涂层；5）制作纳米复合涂层：关闭Cr靶材，开启AlCr靶材，并电弧控制电流为400A至800A之间，在CrN结合涂层的表面沉积AlCrN纳米复合涂层。
- 一种具有PVD涂层的钛合金切削刀具材料及其制备方法-201810372099.6
- 刘杰;邓欣;伍尚华;梅海娟;王瑞 - 广东工业大学
- 2018-04-23 - 2019-09-20 - C23C14/32
- 本发明涉及一种具有PVD涂层的钛合金切削刀具材料及其制备方法，采用物理气相沉积PVD中的阴极电弧蒸镀工艺制备多元涂层，包括：对试样刀具进行抛光清洗；制备TiN粘结底层；制备TiCNO及TiCN多元涂层；制备保护涂层，可为TiAlZr/TiAlZrCr涂层，TiAlZr/CrN涂层，TiAlZr/ZrN涂层，TiAl/CrN涂层或TiAl/TiAlCr涂层。本发明中将多种合金元素加入到刀具涂层中，形成多元涂层体系，提高了涂层的硬度，改善了涂层的耐磨性和韧性，降低了与钛合金的粘结倾向和摩擦系数。同时，刀具具有抗机械冲击和良好的热稳定性，综合性能好，有效延长了钛合金切削刀具的使用寿命。
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