[发明专利]一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺

摘要

本发明公开了一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺，该谐振系统包括衬底及置于衬底上的谐振测试系统，该谐振测试系统包括上极板、下极板以及基座；基座位于衬底上表面，上极板包括三角形质量块和至少两根股梁，股梁与三角形质量块连接点之间加入节胫，股梁另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻，并与基座相连；下极板位于衬底上表面的中央，三角形折叠梁质量块与下极板之间存在空气间隙，两者之间加驱动电压，压阻电阻串联于外接电路中。此系统利用静电力驱动和压阻检测的方法，当三角形折叠梁质量块的质量发生改变时，通过检测股梁的振动频率的变化，表征三角形折叠梁质量块的质量变化，此方法可以广泛应用于纳机电的痕量检测中。

主权项

1.一种三角形折叠梁质量块谐振系统，其特征在于：包括衬底(1)及置于衬底上的三角形折叠梁质量块谐振测试系统，所述三角形折叠梁质量块谐振测试系统包括上极板、下极板(5)、基座(2)、驱动电压以及外接电路；基座，位于衬底上表面；上极板，包括三角形质量块(3)和至少两根股梁(4)，股梁的一端与三角形质量块之间通过加入的节胫连接，股梁的另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻(6)，并与基座相连，基座和股梁之间形成绝缘节；三角形质量块由至少两根股梁支撑水平设置，且位于系统中间；下极板，位于衬底上表面的中央；衬底、基座、三角形质量块以及股梁之间形成一个空间，三角形折叠梁质量块与下极板之间存在空气间隙，两者之间加驱动电压(7)，压阻电阻串联于外接电路(8)中，以检测股梁振动频率的偏移量，进而推得三角形折叠梁质量块的质量变化量。