[发明专利]一种微机电系统的运动部件及其加工方法有效
| 申请号： | 201711191094.5 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107934905B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 韩静 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 庞许倩;马东伟 |
| 地址： | 221116*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机电系统的运动部件及其加工方法，属于微机电系统的加工工艺技术领域，降低运动部件侧壁的摩擦力，提高其耐磨损性。运动部件的侧壁形成有包括凸起结构以及与凸起结构交叉的波纹状结构的微纳米图案。加工方法采用反应离子深刻蚀工艺将光刻胶层形成的凸起结构转移到运动部件的侧壁上，并通过刻蚀工艺交替进行的刻蚀和钝化在运动部件的侧壁形成波纹状结构，从而在运动部件的侧壁面形成凸起结构和波纹状结构构成的网状微纳米图案。本发明提供的微机电系统的运动部件及其加工方法可用于微机电系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 运动 部件 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统的运动部件，其特征在于，所述运动部件的侧壁形成有网状的微纳米图案；所述微纳米图案包括凸起结构以及与所述凸起结构交叉的波纹状结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国矿业大学，未经中国矿业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711191094.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
