[发明专利]一种面板行业铜制程用新型剥离液有效
| 申请号： | 201711191068.2 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107942625B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 32309 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214434 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液，包括如下质量百分比的成分，醇类1%‑2%，醚类40%‑50%、混胺类3%‑8%、低沸点有机溶剂40%～50%、缓蚀剂1%～5%、非离子型表面活性剂1%～5%和余量为纯水。该剥离液剥离速度适中，在1000倍显微镜下，剥离后的晶圆表面无光刻胶残留；10000倍显微镜下，对铜金属层几乎没有腐蚀。本发明采用醇类、醚类混合使用加强去胶能力，结合混胺类物质，增强铜金属抗腐蚀性能；但是常规的胺类物质用量加大，会加大铜金属的腐蚀，本申请中采用联胺类物质，即（盐酸联胺、一水联胺）组合使用结合其它胺类物质，可提高去胶能力，加强铜金属的保护，且由于联胺组合物极易溶于水，去除便捷，可减少唑类物质加入，较少添加剂残留。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面板 行业 铜制 新型 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种面板行业铜制程用剥离液，包括如下质量百分比的成分/n醇类 1%-2%，/n醚类 40%-50%/n混胺类 3%-8%/n低沸点有机溶剂 40%～50%/n缓蚀剂 1%～5%，/n非离子型表面活性剂 1%～5%，/n余量为纯水；/n所述混胺类为包括盐酸联胺和一水联胺，还包括单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、乙二胺的一种或几种。/n
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