[发明专利]一种面板行业铜制程用新型剥离液

权利要求书

1.一种面板行业铜制程用剥离液，包括如下质量百分比的成分

醇类 1%-2%，

醚类 40%-50%

混胺类 3%-8%

低沸点有机溶剂 40%～50%

缓蚀剂 1%～5%，

非离子型表面活性剂 1%～5%，

余量为纯水；

所述混胺类为包括盐酸联胺和一水联胺，还包括单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、乙二胺的一种或几种。

2.根据权利要求1所述的面板行业铜制程用剥离液，其特征在于：醇类为乙二醇、四氢糠醇、丙三醇、季戊四醇的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的面板行业铜制程用剥离液，其特征在于：醚类为二乙二醇单丁醚、丙二醇单丁醚、二丙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚、乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二丙二醇单乙醚中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的面板行业铜制程用剥离液，其特征在于：所述低沸点有机溶剂为酰胺类或内酰胺类低沸点有机溶剂中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的面板行业铜制程用剥离液，其特征在于：所述低沸点有机溶剂为N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-丙基-2-吡咯烷酮中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的面板行业铜制程用剥离液，其特征在于：所述缓蚀剂为膦羧酸PBTCA、巯基苯并噻唑、苯并三唑中的一种或几种。

7.根据权利要求1所述的面板行业铜制程用剥离液，其特征在于：所述非离子型表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚。

8.根据权利要求7所述的面板行业铜制程用剥离液，其特征在于：所述烷基酚聚氧乙烯醚为辛基酚聚氧乙烯醚和壬基酚聚氧乙烯醚中的一种。