[发明专利]一种研磨手臂盖板在审
| 申请号： | 201711160366.5 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107900893A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 赵振伟;张弢;蒋德念 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨手臂盖板，包括研磨手臂盖板的俯视图呈一腰形，腰形包括一矩形图形和两半圆图形；每一半圆图形的直径所在边贴合矩形图形的长度方向的一边；半圆图形的直径等于矩形图形的宽度；研磨手臂盖板的侧视图为一等腰三角形。本发明是把研磨手臂盖板做成带角度的盖板来替换现有的平面的盖板，使得水不会沉积在研磨手臂盖板上，研磨过程中不会有研磨手臂盖板上的水滴落到研磨垫上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 手臂 盖板 | ||
【主权项】：
一种研磨手臂盖板，其特征在于，包括：所述研磨手臂盖板的俯视图呈一腰形，所述腰形包括一矩形图形和两半圆图形；每一所述半圆图形的直径所在边贴合所述矩形图形的长度方向的一边；所述半圆图形的直径等于所述矩形图形的宽度；所述矩形图形所在部分的截面为一三角形，所述矩形图形所在部分的宽度方向的两侧构成斜面。
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