[发明专利]一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法

摘要

本发明提供了一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法，将双向交替兆声波耦合进电铸过程中，该设备包括兆声铸槽，所述兆声铸槽包括压电陶瓷组、电铸槽、防水槽和水浴槽。电铸槽在防水槽内部贴壁固定，防水槽在水浴槽内通过与防水槽一体的上盖板固定于水浴槽上。其中压电陶瓷组粘贴于电铸槽的两侧壁外，电铸槽为石英材质，且壁厚为所用兆声频率在石英中的半波长。压电陶瓷组通入兆声波信号，实现双向兆声振动的时间控制。兆声提高微电铸均匀性的方法是在基板上制作光刻胶微结构，实现胶膜图形化，并在电铸过程中施加双向交替的兆声波辐照。本发明的兆声电铸设备及方法操作简单易行，且能够有效的提高金属微电铸过程中铸层的均匀性。

主权项

1.一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备，包括设备外壳、搅拌机构、阴极背板、阳极板、循环液系统、电源接口、总开关、控制及显示器、电源控制箱，其中，电源接口、总开关、控制及显示器、电源控制箱依次电连接并固定于设备外壳的内部；其特征在于，还包括兆声铸槽，所述兆声铸槽包括压电陶瓷组、电铸槽、防水槽和水浴槽；电铸槽在防水槽内部贴壁固定，防水槽在水浴槽内通过与防水槽一体的上盖板固定于水浴槽上；所述压电陶瓷组粘贴于电铸槽相对的两侧面外壁，电铸槽为石英材质，石英槽壁厚为所用兆声波频率在石英中的半波长。