[发明专利]一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法

权利要求书

1.一种采用兆声电铸设备提高金属微电铸均匀性的方法，其特征在于，该兆声电铸设备，包括设备外壳、搅拌机构、阴极背板、阳极板、循环液系统、电源接口、总开关、控制及显示器、电源控制箱，其中，电源接口、总开关、控制及显示器、电源控制箱依次电连接并固定于设备外壳的内部；其特征在于，还包括兆声铸槽，所述兆声铸槽包括压电陶瓷组、电铸槽、防水槽和水浴槽；电铸槽在防水槽内部贴壁固定，防水槽在水浴槽内通过与防水槽一体的上盖板固定于水浴槽上；所述压电陶瓷组粘贴于电铸槽相对的两侧面外壁，电铸槽为石英材质，石英槽壁厚为所用兆声波频率在石英中的半波长；

包括步骤如下：

(一)在基板上制作光刻胶微结构，基板研磨、抛光、匀胶，光刻胶曝光、显影，露出导电基底；

(二)在电铸过程中施加双向交替的兆声波辐照：基板固定于兆声电铸设备的阴极背板，通过时间继电器控制兆声波发生器激励铸槽两侧压电陶瓷振动，压电陶瓷辐射兆声波，兆声波透过石英槽壁且平行于基板在铸槽内交替辐射。

2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述压电陶瓷组的兆声源频率在1MHz以上。

3.根据权利要求1或2所述方法，其特征在于，所述压电陶瓷组中各压电陶瓷片为条形片状压电陶瓷，压电陶瓷片无间隙紧密排列，且各个压电陶瓷片厚度一致。

4.根据权利要求1或2所述方法，其特征在于，所述压电陶瓷组通过兆声发生器电学并联，各个压电陶瓷片独立工作。

5.根据权利要求3所述方法，其特征在于，所述压电陶瓷组通过兆声发生器电学并联，各个压电陶瓷片独立工作。

6.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述循环液系统包括管接头，循液管，过滤器，循液泵，其特征在于管接头由石英槽底的下水口引出，连接循液管A，穿过防水槽及水浴槽，通过过滤器进入循液泵，并再次经由循液管B循环至石英槽内。

7.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述阴极板固定于搅拌机构并悬置入兆声铸槽中；搅拌机构通过固定板及支撑柱固定安装于兆声铸槽上部。

8.根据权利要求7所述方法，其特征在于，阳极板固定于搅拌机构，实现铸槽内铸液的搅拌功能。

9.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述电源控制箱与控制及显示器包括兆声波发生器、直流电源、温控表、接触器、时间继电器、电铸电源，其中，直流电源、兆声波发生器与兆声铸槽两侧壁上的压电陶瓷依次电连接；直流电源与搅拌机构电极电连接；直流电源与循液泵电连接；电铸电源与阴极背板、阳极板电连接；温控表与热电偶、电加热管电连接。