[发明专利]太阳能电池固化工具在审
| 申请号： | 201711114645.8 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN108075012A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 佩里纳·雅弗雷努;吉勒·奥拉夫·唐吉·普兰;基兰·马克·特雷西;邱泰庆;迈克尔·C·约翰逊;林承笵 | 申请（专利权）人： | 太阳能公司;道达尔销售服务公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾丽波;张娜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了一种利用太阳能电池的光接收表面的UV固化来制造太阳能电池的固化工具以及得到的太阳能电池。在示例中，固化工具将UV曝光级和一个或多个沉积或退火级相结合以制造太阳能电池。例如，辐射固化级可以在用于在背接触太阳能电池上执行操作的后端处理级之前。因此可以使用固化工具来执行提高太阳能电池的UV稳定性的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 固化 背接触太阳能电池 退火 光接收表面 辐射固化 后端处理 沉积 制造 曝光 申请 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池固化工具，包括：辐射固化级，其包括发射电磁辐射的辐射源；一个或多个沉积级或退火级；以及传输机系统，其包括可操作地耦接至晶片平台的制动器，其中，所述晶片平台具有面向所述辐射源的保持表面以接收发射的电磁辐射，并且其中，所述传输机系统移动所述晶片平台通过所述辐射固化级和所述一个或多个沉积级或所述退火级。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
