[发明专利]一种提升光伏电池扩散制结效率的方法

摘要

本发明涉及光伏电池生产领域。一种提升光伏电池扩散制结效率的方法，对硅片进行氧化后，首先进行较低温度的大流量沉积，然后采用较高温度的大流量推进，提高PN结深度，然后采用三次较高温度的小流量沉积和推进，在硅片表面形成渐变场浓度梯度更陡的磷扩散。本发明通过渐变场钝化效应来降低表面复合速率，实现后可以提升效率至少0.07%，同时扩散均匀性改善，对于组件抗PID也有所提升。

主权项

一种提升光伏电池扩散制结效率的方法，其特征在于：按照如下的步骤进行步骤一、保持氮气流量7slm/min，将携带硅片的石英舟以35cm/min的速度进入充满氮气的石英炉管中，关闭炉门，以10℃/min的升温速率至780℃，保温2分钟，保持氮气流量7slm/min，氧气流量2slm/min，保温5分钟；步骤二、第一次沉积，保持温度810℃，保持氮气流量7slm/min，三氯化氧磷流量1.45slm/min，氧气流量1.16slm/min，沉积时间为7分钟；第一次推进，以10℃/min的升温速率升温到830 ℃，保持氮气流量7slm/min、氧气流量为2.9slm/min，推进时间为6min；步骤三、第二次沉积，保持温度830℃，氮气流量7slm/min，三氯化氧磷流量1.45slm/min、氧气流量为1.16slm/min，沉积时间为3min；第二次推进，保持温度830℃，氮气流量7slm/min，氧气流量为1.5slm/min，推进时间为3min；步骤四、第三次沉积，保持温度830℃，氮气流量7slm/min，三氯化氧磷流量1.45slm/min、氧气流量为1.16slm/min，沉积时间为1min；第三次推进，保持温度830℃，氮气流量7slm/min，氧气流量为1.5slm/min，推进时间为1min；步骤五、第四次沉积，保持温度830℃，氮气流量7slm/min，三氯化氧磷流量1.45slm/min、氧气流量为1.16slm/min，沉积时间为1min；第四次推进，保持温度830℃，氮气流量7slm/min，氧气流量为1.5slm/min，推进时间为1min；步骤六、以10℃/min的升温速率将温度降到780℃，保持氮气流量7slm/min，以40cm/min速度出舟。