[发明专利]一种四氯化硅的制备方法及反应温度控制方法有效
| 申请号： | 201711066944.9 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN107673359B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王姗 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 何龙 |
| 地址： | 610000 四川省成都市新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种四氯化硅的制备方法及反应温度控制方法，属于基础化工原材料生产领域。在四氯化硅的生产过程中控制反应器内温度，使反应器内合成四氯化硅过程温度保持在800～1500℃。在反应过程中，根据温度按照预设模式调节氯源成分。预设模式包括：当温度高于第一预设值时，降低混合气体中的氯气和氮气的体积比。当反应器内的温度低于第二预设值时，提高混合气体中的氯气和氮气的体积比。其中，第一预设值大于第二预设值。本发明提出的碳化硅、二氧化硅、氯气反应制备四氯化硅过程温度控制方法，可方便地通过调节氮气和氯气的含量来调控温度，从而可实现更好的反应温度可控性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 制备 方法 反应 温度 控制 | ||
【主权项】：
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