[发明专利]一种高效的碳化硅外延法制备石墨烯的装置在审
申请号: | 201711047473.7 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107720738A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 刘兴翀;魏欣;魏泽忠 | 申请(专利权)人: | 成都格莱飞科技股份有限公司 |
主分类号: | C01B32/188 | 分类号: | C01B32/188 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙)51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 610041 四川省成都市高新区天*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种高效的碳化硅外延法制备石墨烯的装置,所述反应装置是管式反应装置,管式反应器有多个且结构相同,并通过管路依次串联,所述管式反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管、设置在铜管上的感应线圈、与感应线圈相连的高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板;所述管式反应器,其上下两端封闭,开设有进气口和出气口;所述反应装置的左侧设有抽气阀门。该装置结构简单,管式反应器串联,提高了反应气体的利用率,提高了石墨烯的生产量。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 碳化硅 外延 法制 石墨 装置 | ||
【主权项】:
一种高效的碳化硅外延法制备石墨烯的装置,其特征在于:所述反应装置是管式反应装置,管式反应器有多个且结构相同,并通过管路依次串联,所述管式反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管、设置在铜管上的感应线圈、与感应线圈相连的高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板;所述管式反应器,其上下两端封闭,开设有进气口和出气口;所述反应装置的左侧设有抽气阀门。
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