[发明专利]纳米压印模板及其制作方法和应用在审
| 申请号： | 201711043937.7 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107643652A | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 杨勇;崔宏青 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印模板，其包括模板主体、设置在模板主体上的若干光刻胶微结构、以及包覆在光刻胶微结构外层的氟橡胶聚合物层；其中，氟橡胶聚合物层与模板主体之间具有键结作用，以使氟橡胶聚合物层固定连接在模板主体的表面。根据本发明的纳米压印模板不仅可对其中的光刻胶微结构起到保护作用，以防止该纳米压印模板在使用过程中发生形变，从而提高纳米压印的工艺品质；而且能够改善该纳米压印模板压印表面的耐油性和耐腐蚀性，使其表面具有更低的表面能，从而在压印使用过程中可有效改善脱胶问题。本发明还公开了上述纳米压印模板的制作方法及其在制作微结构基板中的应用，该应用方法可确保所形成的微结构基板的微结构尺寸及形状。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 模板 及其 制作方法 应用 | ||
【主权项】：
一种纳米压印模板，其特征在于，包括模板主体、设置在所述模板主体上的若干光刻胶微结构、以及包覆在所述光刻胶微结构外层的氟橡胶聚合物层；其中，所述氟橡胶聚合物层与所述模板主体之间具有键结作用，以使所述氟橡胶聚合物层固定连接在所述模板主体的表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711043937.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：音频切换方法及装置、Type‑C接口处理方法及装置
- 下一篇：耳机装置
