[发明专利]一种制备SiO粉末的方法

摘要

一种制备SiO粉末的方法，涉及一氧化硅的制备技术领域，以多晶硅粉或多晶硅块与石英棒为制备SiO的原材料，置于坩埚内，在熔融状态下反应生成SiO蒸汽，再将SiO蒸汽与氩气的混合气体通入水冷沉积装置进行冷却沉积，在熔融反应时，使石英棒和坩埚内多晶硅熔体保持相反方向不断旋转接触，以使石英棒与多晶硅熔体充分反应，以提高熔融反应速度，反应生成的SiO蒸汽经水冷沉积装置冷却后形成SiO粉末后沉积至沉积箱四周外壁上分离出，氩气经过水冷沉积装置内沉积箱四周外壁上的微小通孔进入沉积箱内腔后经出气管进入氩气收集处理装置，经处理后又重新进入熔融反应装置内循环利用。

主权项

一种制备SiO粉末的方法，其特征在于：包括以下步骤：准备原料：选择多晶硅粉或多晶硅块和石英棒为原料，分别烘干备用；装料：将烘干后的多晶硅粉或多晶硅块置于熔融反应装置的坩埚内，用钼夹将石英棒夹于坩埚的上方；熔融反应：打开真空泵，对熔融反应装置抽真空，当熔融反应装置真空度低于3Pa时，启动加热钨棒对加热坩埚进行加热，加热速度保持在200‑600℃/h，加热的同时，打开进气管，以对熔融反应装置充入惰性气体，惰性气体的充入流量保持在0.1‑5L/m，当炉膛温度到达1450℃时，保温2‑3小时，直至多晶硅粉或多晶硅块全部融化，然后调整坩埚的高度，使坩埚与熔融反应装置侧壁上的气体导流通道的高度差保持在3‑15cm之间，然后启动钼夹上的驱动电机，以使夹于坩埚上方的石英棒逐渐下降，当石英棒与坩埚内的硅熔体界面接触时，调整石英棒下降速度，使石英棒的下降速度保持在1‑10mm/m，石英棒的旋转速度保持在5‑15转/m，同时使坩埚向石英棒相反的方向旋转，旋转速度也保持在5‑15转/m，从而使石英棒旋转进入坩埚内与硅熔体充分接触以不断反应生成SiO蒸汽；沉积冷却：生成的SiO蒸汽在不断充入的惰性气体的引导下通过熔融反应装置侧壁上的气体导流通道导流进入水冷沉积装置内进行冷却沉积。