[发明专利]一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料及其制备方法有效
申请号: | 201711013690.4 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN107732213B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 王飞蓉;许银梅;汪涛 | 申请(专利权)人: | 深圳名飞远科技有限公司 |
主分类号: | H01M4/36 | 分类号: | H01M4/36;H01M4/38 |
代理公司: | 34142 合肥中博知信知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张加宽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于新能源锂电池负极材料技术领域,具体的说,涉及一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料及其制备方法,所述的制备方法包括:(1)在片层状的多晶硅片表面喷涂碳化硅粉末,形成高度为5‑10μm的凸起结构;(2)在步骤(1)的多晶硅表面沉积形成纳米氮化锡薄膜;(3)施加包含四氟化碳、氮气和氩气的气体混合物形成的高密度等离子体蚀刻步骤(2)中的多晶硅表面,即得所述的氮化锡/硅负极材料;本发明提供的氮化锡/硅负极材料,通过喷涂在多晶硅片表面的碳化硅颗粒及沉积形成的纳米氮化锡薄膜形成了复合的骨架结构,结合碳化硅具有较小的热膨胀系数,导热性能良好,有效的减小了硅负极材料的体积效应。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 锂电池 氮化 负极 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:/n(1)在片层状的多晶硅片表面喷涂碳化硅粉末,形成高度为5-10μm的凸起结构;/n(2)在步骤(1)的多晶硅表面沉积形成纳米氮化锡薄膜;/n(3)施加包含四氟化碳、氮气和氩气的气体混合物形成的高密度等离子体蚀刻步骤(2)中的多晶硅表面,即得所述的氮化锡/硅负极材料;/n所述的碳化硅粉末在多晶硅表面的覆盖率为30-50%;/n步骤(1)中,通过喷砂机构对多晶硅片表面实施喷涂碳化硅粉末;/n所述的纳米氮化锡薄膜的厚度为1-3μm。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳名飞远科技有限公司,未经深圳名飞远科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711013690.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体结构及其形成方法
- 下一篇:静电放电保护结构及其形成方法