[发明专利]PERC太阳能电池的镀膜方法、制备方法及PERC太阳能电池

摘要

本发明提供了一种PERC太阳能电池的镀膜方法，发生在PERC太阳能电池制备过程中对硅片进行制绒、扩散、刻蚀和去玻璃杂质之后、以及硅片背面局部开槽之前，该镀膜方法包括：在待镀膜的硅片的正面形成减反射膜以及在该硅片的背面形成叠层膜，该叠层膜包括钝化膜以及在该钝化膜上形成的保护膜；其中，在待镀膜的硅片的正面形成减反射膜的步骤包括：将待镀膜的硅片置于反应炉中对硅片的正面进行减反射膜的沉积操作；沉积操作结束后将硅片在反应炉中静置第一预定时长；静置结束后将硅片从反应炉中取出。相应地，本发明还提供了一种PERC太阳能电池的制备方法及PERC太阳能电池。本发明可以有效降低PERC太阳能电池的EL异常比例、提高PERC太阳能电池的效率以及良率。

主权项

1.一种PERC太阳能电池的镀膜方法，该镀膜方法发生在PERC太阳能电池制备过程中对硅片进行制绒、扩散、刻蚀和去玻璃杂质之后、以及硅片背面局部开槽之前，该镀膜方法包括：在待镀膜的硅片的正面形成减反射膜以及在该硅片的背面形成叠层膜，该叠层膜包括钝化膜以及在该钝化膜上形成的保护膜；其中，在待镀膜的硅片的正面形成减反射膜的步骤包括：将待镀膜的硅片置于反应炉中对所述硅片的正面进行减反射膜的沉积操作；沉积操作结束后将反应炉中的第一沉积温度调高至静置温度；将所述硅片在反应炉中静置第一预定时长；静置结束后将反应炉中的所述静置温度调低至所述第一沉积温度；将所述硅片从反应炉中取出。