[发明专利]一种纳米光电材料制备方法在审
| 申请号： | 201710971128.6 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN107699858A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 方泽波;潘小杰 | 申请（专利权）人： | 苏州贝龙光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米光电材料制备方法，包括以下步骤S1、制备材料的准备，加热箱、真空泵、气泵、阳极金属板、阴极金属板、电源和惰性气体等，S2、真空加热，将阳极金属板和阴极金属板放入加热箱内，使用真空泵抽出加热箱内的空气，形成真空加热箱，S3、充气，在步骤S2中将加热箱内的气体抽出形成真空后，将加热箱的内部利用气泵充入惰性气体，密封。该纳米光电材料制备方法，由于两电极间的辉光放电使氩离子形成，在电场的作用下氩离子冲击阴极靶材表面,使靶材原子从其表面蒸发出来形成超微粒子，适用面较广，可制备低熔点和高熔点纳米金属，从而有效的解决了制备处出纳米金属材料熔点较为集中和制备量较少的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 光电 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米光电材料制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、制备材料的准备，加热箱、真空泵、气泵、阳极金属板、阴极金属板、电源和惰性气体等；S2、真空加热，将阳极金属板和阴极金属板放入加热箱内，使用真空泵抽出加热箱内的空气，形成真空加热箱；S3、充气，在步骤S2中将加热箱内的气体抽出形成真空后，将加热箱的内部利用气泵充入惰性气体，密封；S4、通电，通过电源使得阳极金属板和阴极金属板通电，得出超微粒子，阳极金属板和阴极金属板通电反应原理如图1所示；S5、收集纳米光电材料，断开电源，停止加热，对真空加热箱泄压，使用刮板将阴极金属板内的超微粒子，得出成品。
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