[发明专利]一种纳米光电材料制备方法在审
申请号: | 201710971128.6 | 申请日: | 2017-10-18 |
公开(公告)号: | CN107699858A | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 方泽波;潘小杰 | 申请(专利权)人: | 苏州贝龙光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/16;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 光电 材料 制备 方法 | ||
1.一种纳米光电材料制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1、制备材料的准备,加热箱、真空泵、气泵、阳极金属板、阴极金属板、电源和惰性气体等;
S2、真空加热,将阳极金属板和阴极金属板放入加热箱内,使用真空泵抽出加热箱内的空气,形成真空加热箱;
S3、充气,在步骤S2中将加热箱内的气体抽出形成真空后,将加热箱的内部利用气泵充入惰性气体,密封;
S4、通电,通过电源使得阳极金属板和阴极金属板通电,得出超微粒子,阳极金属板和阴极金属板通电反应原理如图1所示;
S5、收集纳米光电材料,断开电源,停止加热,对真空加热箱泄压,使用刮板将阴极金属板内的超微粒子,得出成品。
2.根据权利要求1所述的一种纳米光电材料制备方法,其特征在于:所述步骤S1中的加热箱包括观察口、压力表、泄压阀和加热装置,所述步骤S1中的加热装置采用电阻加热装置。
3.根据权利要求1所述的一种纳米光电材料制备方法,其特征在于:所述步骤S2中加热箱加热温度为八十摄氏度至一百摄氏度之间。
4.根据权利要求1所述的一种纳米光电材料制备方法,其特征在于:所述步骤S3中的阳极金属板和阴极金属板以加热箱的中心线为对称线呈对称分布,所述步骤S3中的惰性气体包括氦气、氖气、氩气、氪气、氙气和氡气等,所述步骤S3中使用的惰性气体为氩气,所述步骤S3中的氩气气压为40~250Pa。
5.根据权利要求1所述的一种纳米光电材料制备方法,其特征在于:所述步骤S4中的通电电压为0.3-1.5KV,所述步骤S4中得出的超微粒子固体颗粒比表面积与其粒径的关系可由下式表示:Sw=K/ρD;
式中 Sw———粒子的比表面积;
K———形状因子(球形和立方体粒子的K 为6);
ρ———粒子的理论密度;
D———粒子的平均直径;
另外能级间距与金属颗粒直径之间的关系如公式:δ=EF/3N;
式中δ———能级间距;
EF———费米能级;
N———总电子数;
同时随着靶材的表面积越大,原子的蒸发速率越大,所得出的超微粒子的获得量越多。
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