[发明专利]红外焦平面阵列有效
| 申请号： | 201710970347.2 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109671727B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 金迎春;高健飞;黄立;刘斌 | 申请（专利权）人： | 武汉高德红外股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/144 | 分类号： | H01L27/144;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外焦平面阵列，包括覆盖有钝化膜的外延片，外延片表面设置有多个凹陷的掺杂区，外延片表面外周分布有多个公共电极，钝化膜开设有多个接触孔以及与多个凹陷的掺杂区对应的多个凸点孔；钝化膜在水平方向上由第一钝化区与第二钝化区组成，第二钝化区为与凸点孔同圆心的圆环；第一钝化区表面覆盖有第一导流电极，接触孔内填充有与第一导流电极相连通的第二导流电极；第一导流电极与第二导流电极均由金属导电材料组成。本发明的目的在于解决红外焦平面阵列边缘的像元与中间像元供电电压不同所造成的焦平面阵列画面不均匀的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 平面 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种红外焦平面阵列，包括覆盖有钝化膜(4)的外延片(1)，所述外延片(1)表面设置有多个凹陷的掺杂区(2)，所述外延片(1)表面外周分布有多个公共电极(3)，其特征在于，所述钝化膜(4)开设有多个接触孔(6)以及与多个凹陷的掺杂区(2)对应的多个凸点孔(7)；所述钝化膜(4)在水平方向上由第一钝化区与第二钝化区组成，所述第二钝化区为与所述凸点孔(7)同圆心的圆环；所述第一钝化区表面覆盖有第一导流电极，所述接触孔(6)内填充有与所述第一导流电极相连通的第二导流电极；所述第一导流电极与第二导流电极均由金属导电材料组成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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