[发明专利]一种应用于加速度计的SU‑8柔性光波导及其制备方法在审
| 申请号： | 201710964074.0 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN107621674A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 闫树斌;文丰;韵力宇;李国洪;冯登超;张彦军;李云超;崔建功;张志东 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/138 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于光学领域和微光机电系统领域，尤其涉及一种应用于加速度计的光波导设计及制造，具体为一种应用于加速度计的SU‑8柔性光波导及其制备方法。一种应用于加速度计的SU‑8柔性光波导，包括硅基底；硅基底上设有一层以聚合物NOA73为材料的下包层，下包层上设置有矩形SU‑8芯层，下包层上还设置有将矩形SU‑8芯层覆盖的以聚合物NOA73为材料的上包层，上包层上镀有Al掩膜。本发明所提出的柔性材料光波导加速度计，简化了制备工艺并降低成本，提高光学系统集成度，并且具有很好的抗震、抗干扰性能，适合于批量生产，可广泛的应用于军民领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 加速度计 su 柔性 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种应用于加速度计的SU‑8柔性光波导，其特征在于包括硅基底（1）；硅基底（1）上设有一层以聚合物NOA73为材料的下包层（2），下包层（2）上设置有矩形SU‑8芯层（3），下包层（2）上还设置有将矩形SU‑8芯层（3）覆盖的以聚合物NOA73为材料的上包层（4），上包层（4）上镀有Al掩膜（5）。
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