[发明专利]一种硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜在审
| 申请号： | 201710960640.0 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109666890A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 马晓伟 | 申请（专利权）人： | 马晓伟 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 为了改善硬质合金的硬度、耐磨性，制备了一种硬质合金表面的TiAlZr‑Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜。采用2个Ti63‑Al32‑Zr5合金靶和1个Cr单质靶，基体试样选用WC‑8Co硬质合金为原料，硬质合金表面的TiAlZr‑Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜，沉积过程中偏压参数的设定对复合膜的性能有一定的影响。偏压参数设定过高，则会使复合膜过度反应，力学性能下降。偏压参数设定过低，则复合膜不能很好的附着在基体硬质合金表面，造成脱落。所制得的硬质合金表面的TiAlZr‑Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜，其硬度、致密化程度、抗弯强度都得到大幅提升。本发明能够为制备高性能的硬质合金梯度膜提供一种新的生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质合金表面 梯度膜 硬质合金 偏压参数 复合膜 制备高性能 耐磨性 基体试样 力学性能 合金靶 致密化 沉积 单质 附着 抗弯 制备 生产工艺 | ||
【主权项】：
1.一种硬质合金表面的TiAlZr‑Cr(Ti ,Al,Zr,Cr)N梯度膜的制备原料包括：2个Ti63‑Al32‑Zr5合金靶和1个Cr单质靶，基体试样选用WC‑8Co硬质合金。
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