[发明专利]一种硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜在审
| 申请号： | 201710960640.0 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109666890A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 马晓伟 | 申请（专利权）人： | 马晓伟 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬质合金表面 梯度膜 硬质合金 偏压参数 复合膜 制备高性能 耐磨性 基体试样 力学性能 合金靶 致密化 沉积 单质 附着 抗弯 制备 生产工艺 | ||
1.一种硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti ,Al,Zr,Cr)N梯度膜的制备原料包括：2个Ti63-Al32-Zr5合金靶和1个Cr单质靶，基体试样选用WC-8Co硬质合金。
2.根据权利要求1所述的硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti ,Al,Zr,Cr)N梯度膜，其特征是硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti ,Al,Zr,Cr)N梯度膜的制备步骤为：将原料按实验设计方案称重、配料，配好后采用砂纸进行打磨、抛光，然后进行超声波清洗，随后放入真空干燥炉中进行干燥，将加工好的试样放入真空炉中进行镀膜沉积，沉积温度为270℃，传动轴电压为35V。
3.根据权利要求1所述的硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti ,Al,Zr,Cr)N梯度膜，其特征是硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti ,Al,Zr,Cr)N梯度膜的检测步骤为：微观形貌采用JOELJSM场发射扫描电镜观察，成分分析采用其附带的能谱仪，晶体结构采用X040型衍射仪测定，硬度采用HXD1000TMB显微硬度计测定，结合力采用WS05声发射划痕仪测定。
4.根据权利要求1所述的硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti ,Al,Zr,Cr)N梯度膜，其特征是所述的硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜，其与基体之间的冶金结合良好，尺寸分布均匀，制得的复合膜晶粒为面心立方结构，具有优异的力学性能，所述的硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜，沉积过程中偏压参数的设定对复合膜的性能有一定的影响，偏压参数设定过高，则会使复合膜过度反应，力学性能下降，偏压参数设定过低，则复合膜不能很好的附着在基体硬质合金表面，造成脱落，所述的硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜，复合梯度膜具有比单层膜更高的硬度和更强的膜/基结合力，最高值可分别达到HV5000和大于400N。
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