[发明专利]流体喷射头及制作流体喷射头的方法有效
申请号: | 201710945916.8 | 申请日: | 2017-10-11 |
公开(公告)号: | CN107953672B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 克里斯多夫·A·克拉夫特;大卫·L·贝尔纳;安德鲁·L·麦克尼斯;尚恩·T·威佛 | 申请(专利权)人: | 船井电机株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14 |
代理公司: | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本大阪府大*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种流体喷射头以及一种制作流体喷射头的方法。所述方法包括:提供衬底,所述衬底在其装置表面上含有多个流体喷射致动器。在所述衬底中形成一个或多个流体供应通孔。将流动特征层叠层到所述衬底,并通过光掩模将所述流动特征层暴露于紫外光辐射,以提供所述流动特征层的经紫外光暴露区域。对所述流动特征层进行加热,以使所述经紫外光暴露区域中的材料交联。将喷嘴板层叠层到所述流动特征层,并通过光掩模将所述喷嘴板层暴露于紫外光辐射,以提供用于喷嘴孔的经紫外光暴露区域。利用热量使喷嘴板层交联,并对流动特征层及喷嘴板层进行显影,以在流动特征层及喷嘴板层中分别形成流动特征及喷嘴孔。 | ||
搜索关键词: | 流体 喷射 制作 方法 | ||
【主权项】:
1.一种流体喷射头,其特征在于,包括:/n衬底,配置为含有位于所述衬底的装置表面上的多个流体喷射致动器以及穿透所述衬底而形成的一个或多个流体供应通孔;/n第一光刻胶层,配置为被叠层到所述衬底的所述装置表面;以及/n第二光刻胶层,配置为被叠层到所述第一光刻胶层,/n其中,所述第二光刻胶层包括:/n亲水性光刻胶材料层,设置为邻近所述第一光刻胶层;以及/n疏水性光刻胶材料层,设置为邻近所述亲水性光刻胶材料层;/n其中,所述第一光刻胶层配置为在所述衬底上提供减反射涂层,并且,所述第一光刻胶层作为减反射层。/n
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