[发明专利]一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统在审
| 申请号： | 201710942583.3 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN107703043A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 刘翼;陶涛;孙军 | 申请（专利权）人： | 合肥科烨电物理设备制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 安徽信拓律师事务所34117 | 代理人： | 李德胜 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区长*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统，包括第一腔体、第二腔体和薄膜安装法兰，所述第一腔体一端连接有复压阀，所述第一腔体上部连接有第一薄膜规，所述第一腔体下部连接有第三挡板阀和第四挡板阀，第四挡板阀连接有流量计，所述第三挡板阀通过管道与第二腔体连接，所述第一腔体上部连接有第一挡板阀，所述第一挡板阀经管道与薄膜安装法兰相接，所述薄膜安装法兰经管道与第二腔体相接，所述第二腔体上部连接有第二薄膜规，所述第二腔体下部经第二挡板阀连接至机械泵。本发明可以直接测试薄膜在额定压差下对特定气体漏率，弥补了常规氦质谱检漏方法需要换算甚至无法实施的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 额定 压差下 薄膜 特定 气体 系统 | ||
【主权项】：
一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统，其特征在于包括：第一腔体、第二腔体和薄膜安装法兰，所述第一腔体一端连接有复压阀，所述第一腔体上部连接有第一薄膜规，所述第一腔体下部连接有第三挡板阀和第四挡板阀，第四挡板阀连接有流量计，所述第三挡板阀通过管道与第二腔体连接，所述第一腔体上部连接有第一挡板阀，所述第一挡板阀经管道与薄膜安装法兰相接，所述薄膜安装法兰经管道与第二腔体相接，所述第二腔体上部连接有第二薄膜规，所述第二腔体下部经第二挡板阀连接至机械泵。
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