[发明专利]一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统

权利要求书

1.一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统，其特征在于包括：第一腔体、第二腔体和薄膜安装法兰，所述第一腔体一端连接有复压阀，所述第一腔体上部连接有第一薄膜规，所述第一腔体下部连接有第三挡板阀和第四挡板阀，第四挡板阀连接有流量计，所述第三挡板阀通过管道与第二腔体连接，所述第一腔体上部连接有第一挡板阀，所述第一挡板阀经管道与薄膜安装法兰相接，所述薄膜安装法兰经管道与第二腔体相接，所述第二腔体上部连接有第二薄膜规，所述第二腔体下部经第二挡板阀连接至机械泵。

2.根据权利要求1所述的一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统，其特征在于：所述第一薄膜规和第二薄膜规均采用电容薄膜规，该电容薄膜规的响应时间30毫秒。

3.根据权利要求1所述的一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统，其特征在于：所述薄膜安装法兰包括带槽法兰、外O型圈、平法兰、方法兰、钢丝网和内密封圈，所述平法兰经方法兰与带槽法兰相接，所述外O型圈和内密封圈连接在带槽法兰内侧的槽口内，且所述外O型圈位于内密封圈外侧，所述钢丝网位于内密封圈与方法兰之间。

4.根据权利要求3所述的一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统，其特征在于：所述内密封圈位于带槽法兰与钢丝网之间。

5.一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的方法，其特征在于测量方法如下：

(1)将待测薄膜安装在钢丝网和内密封圈之间，再将薄膜安装法兰与两个腔体连接；

(2)整个测试系统安装好，所有阀门处于关闭状态，对系统所有密封处进行氦质谱检漏，漏率均低于1.0E-9pa·m³/s；

(3)将第二挡板阀和第三挡板阀打开，启动机械泵，对两个腔体抽真空，当压强趋于稳定，关闭两个第二挡板阀和第三挡板阀，通过第四挡板阀和流量计对第二腔体充入氩气，完成后关闭第四挡板阀；

(4)记录好第一薄膜规和第二薄膜规的数值为P1、P2，单位为pa，打开第一挡板阀，记录t时间后第一腔体和第二薄膜规的值为P1’和P2’，则该薄膜在设定压差下对氩气的漏率为：

Q＝(P1-P1’)V2/t或Q＝(P2’-P2)V1/t

其中P1、P2-监测开始时第一薄膜规、第二薄膜规的数值

P1’、P2-监测结束时第一薄膜规、第二薄膜规的数值

V1、V2-第一腔体和第二腔体的容积，L，其中V1＝190L V2＝210L

t-监测时长，单位秒。