[发明专利]二极管高效针转移装片工艺有效
申请号: | 201710938691.3 | 申请日: | 2017-09-30 |
公开(公告)号: | CN107818923B | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 杨吉明;匡华强;范宇;卞敏龙;马宇腾 | 申请(专利权)人: | 江苏海德半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L29/861 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 赖定珍 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种二极管高效针转移装片工艺,包括:(1)制作贴片二极管上、下框架并合模的步骤;(2)焊接的步骤;(3)塑封的步骤;(4)固化和电镀的步骤;(5)切筋折弯成型的步骤;(6)回流焊的步骤;(7)检验并出货的步骤;该二极管高效针转移装片工艺中,采用了矩阵式框架,从而能够提高粘胶的效率,增加了产能,节省人工成本;同时,将针转移针头改为了双层式钢针头,通过弹簧能够对钢针下压的过程中,不让晶粒发生破裂,减少了对二极管的电性的影响,同时,调节钢针尖到下板面的距离,以达到合适的长度,能够有效控制粘胶量,在提高原料使用率,降低损耗,而且,钢针针头的尺寸能够进行调节,来提高对锡膏的粘胶量的控制。 | ||
搜索关键词: | 二极管 高效 转移 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种二极管高效针转移装片工艺,其特征在于包括以下步骤:(1)制作贴片二极管上、下框架并合模的步骤;(2)焊接的步骤;(3)塑封的步骤;(4)固化和电镀的步骤;(5)切筋折弯成型的步骤;(6)回流焊的步骤;(7)检验并出货的步骤;其中,所述步骤(1)包括:装架→晶粒装填下料片→筛片→料片装填下框架→晶粒装填上料片→筛片→料片装填上框架→上、下框架合模,在装架中,将各矩阵式框架进行装架;所述步骤(1)中装填时,采用粘胶的针转移针头包括钢针、上层板、下层板和弹簧,下层板的上端面设有一个台阶,钢针依次穿过上层板、台阶和下层板,弹簧套设在钢针的外周,弹簧位于上层板和台阶之间;所述步骤(1)中装填时采用锡膏作为粘胶;所述步骤(2)采用隧道焊接炉焊接,炉内填充有氢气或氮气,并在焊接后对焊接好的材料进行清洗和烘干;所述步骤(6)采用回流焊炉对切筋好的材料进行回流焊,回流焊包括八个温度区,八区温度依次为150℃、160℃、180℃、190℃、230℃、240℃、280℃、280℃;回流焊炉传送带的链速为97‑103cm/min,且切筋好的材料在温度240℃以上区域的时间为10‑30s;所述回流焊后的材料经自然冷却后装箱。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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