[发明专利]三维磁悬浮加速度计及其制造方法

摘要

本发明公开了三维磁悬浮加速度计及其制造方法，包括运算电路系统和六自由度磁悬浮结构，六自由度磁悬浮结构包括与被测载体固连的磁性腔体以及悬浮于该磁性腔体内的磁悬浮体；磁性腔体形成六面体空间并相对于磁悬浮体可移动，任一面设置的第二永磁层与其相对的磁悬浮体一面的第一永磁层极性相同从而在磁悬浮体的六面同时产生相斥磁力使磁悬浮体能够达到六面磁力平衡状态并悬浮在该磁性腔体中。采用上述技术方案，通过巧妙设计三维磁悬浮结构实现六自由度悬浮进而实现三维加速度检测，被测载体的加速度的变化引起相应第一永磁层和第二永磁层磁力的变化通过该结构的压电感应层将磁力变化为电信号，使悬浮体和加速度输入的关系即简单又精确。

主权项

1.一种三维磁悬浮加速度计，其特征在于，包括运算电路系统和六自由度磁悬浮结构，所述六自由度磁悬浮结构包括与被测载体固连的磁性腔体以及悬浮于该磁性腔体内六面都具有剩磁磁场的磁悬浮体；/n所述磁悬浮体采用软磁内层以及与该软磁内层每个面固连设置的第一永磁层且相对两面的第一永磁层相向磁极极性相反；/n所述磁性腔体形成六面体空间并相对于所述磁悬浮体可移动，其任一个面从外到内依次设置固定板、压电感应层和第二永磁层，任一面设置的第二永磁层与其相对的磁悬浮体一面磁极相同从而在磁悬浮体的六面同时产生相斥磁力使所述磁悬浮体能够达到六面磁力平衡状态并悬浮在该磁性腔体中；/n被测载体加速时，所述磁性腔体和磁悬浮体之间打破平衡状态并产生相对位移，进而使施加在所述第二永磁层的磁力的发生变化；/n所述压电感应层固连于固定板和第二永磁层之间，用于感应所述第二永磁层的磁力变化导致其压力变化并将压力的变化转化为相应的电信号；/n所述运算电路系统分别与所述磁性腔体的六面的压电感应层电气连接，用于检测所述压电感应层受到第二永磁层的压力引起电信号的变化并根据所述电信号的变化通过运算转化为加速度。/n