[发明专利]一种白光干涉三维形貌测量光学系统

摘要

发明所提供的白光干涉三维形貌测量光学系统，包括宽谱段光源、投影照明镜组、分光镜、标准反射镜、第一方位调整器、第二方位调整器、直线驱动器、测量镜组及探测器阵列；宽谱段光源发出宽谱段照明光，经投影照明镜组后，投射至被测物体表面和标准反射镜表面；两处的反射光经分光镜合束后形成空间干涉光场，入射至测量镜组中，被投影到光电探测器上。本发明白光干涉三维形貌测量光学系统，能成像获得携带目标物形貌信息的干涉图像，能实时记录和观测目标物的干涉图像，从而为获得被测物体的物体三维形貌信息和二维图像信息提供数据基础。

主权项

1.一种白光干涉三维形貌测量光学系统，其特征在于：包括宽谱段光源、投影照明镜组、分光镜、标准反射镜、第一方位调整器、第二方位调整器、直线驱动器、测量镜组及探测器阵列；所述投影照明镜组位于分光镜的Z轴负方向上，并与所述Z轴垂直；所述标准反射镜位于所述分光镜的Z轴正方向上，所述第一方位调整器驱动连接所述标准反射镜，用于调整标准反射镜面与Z轴的夹角；所述第二方位调整器用于放置被测物体，所述被测物体表面与分光镜的反射面相对，被测物体位于分光镜的X轴负方向上；所述测量镜组位于所述分光镜的X轴正方向上，其光轴与X轴重合；探测器阵列位于测量镜组的后焦平面上，用于接收测量镜组投影过来的物像；所述直线驱动器与所述被测物体驱动连接，用于驱动被测物体沿X轴移动；宽谱段光源发出宽谱段照明光，经投影照明镜组后，投射至被测物体表面和标准反射镜表面，两处的反射光经分光镜合束后形成空间干涉光场，入射至测量镜组中，被投影到光电探测器上；其中，以分光镜的中心为原点建立三维直角坐标系，以宽谱段光源入射到分光镜的光轴方向为Z轴正方向，以宽谱段光源入射到分光镜后经反射出的光轴方向为X轴负方向。