[发明专利]一种环形狭缝节流的气浮转台在审
申请号: | 201710913209.0 | 申请日: | 2017-09-30 |
公开(公告)号: | CN107725592A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 陶继忠;刘坤;崔海龙;刘有海;吕磊;张小强;俞利庆 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06;F16C41/00;H02K11/22 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心51210 | 代理人: | 翟长明,韩志英 |
地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种环形狭缝节流的气浮转台,所述的气浮转台中的转轴由止推节流器和径向节流器支承,气体从进气管接头进入,沿气道给径向节流器和止推节流器供气,用于支承转轴。电机转子和圆光栅与转轴同轴装配,电机定子固定在壳体中,电机定子通电后产生电磁场,驱动电机转子和转轴旋转,圆光栅反馈角度信号,实现转轴的精确定位。本发明利用零件表面加工的台阶,通过装配形成环形狭缝,狭缝宽度与气膜厚度接近,因此气隙内部气体流动的速度变化较小,产生气锤振动的概率较小。内部气道布置简单,加工时狭缝不易堵塞,降低了加工难度。在不增加尺寸、不更改材料的情况下,可增大供气压力,进一步提高了气浮转台的刚度和精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 环形 狭缝 节流 转台 | ||
【主权项】:
一种环形狭缝节流的气浮转台,包括转轴(1)、止推节流器(2)、垫环(3)、径向节流器(4)、壳体(5)、进气管接头(6)、电机定子(7)、电机转子(8)和圆光栅(9);所述的转轴(1)轴向方向由止推节流器(2)、垫环(3)和径向节流器(4)支承,径向方向由径向节流器(4)支承;气体从进气管接头(6)进入壳体(5)和径向节流器(4)之间的腔体,然后沿气道给径向节流器(4)和止推节流器(2)供气,用于支承转轴(1);电机转子(8)和圆光栅(9)与转轴(1)同轴装配,电机定子(7)固定在壳体(5),电机转子(8)和电机定子(7)间的气隙均匀;电机定子(7)通电后产生电磁场,驱动电机转子(8)和转轴(1)旋转,圆光栅(9)反馈角度信号,实现转轴(1)的精确定位。
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