[发明专利]一种环形狭缝节流的气浮转台在审
| 申请号： | 201710913209.0 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107725592A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 陶继忠;刘坤;崔海龙;刘有海;吕磊;张小强;俞利庆 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16C41/00;H02K11/22 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心51210 | 代理人： | 翟长明,韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 环形 狭缝 节流 转台 | ||
1.一种环形狭缝节流的气浮转台，包括转轴（1）、止推节流器（2）、垫环（3）、径向节流器（4）、壳体（5）、进气管接头（6）、电机定子（7）、电机转子（8）和圆光栅（9）；所述的转轴（1）轴向方向由止推节流器（2）、垫环（3）和径向节流器（4）支承，径向方向由径向节流器（4）支承；气体从进气管接头（6）进入壳体（5）和径向节流器（4）之间的腔体，然后沿气道给径向节流器（4）和止推节流器（2）供气，用于支承转轴（1）；电机转子（8）和圆光栅（9）与转轴（1）同轴装配，电机定子（7）固定在壳体（5），电机转子（8）和电机定子（7）间的气隙均匀；电机定子（7）通电后产生电磁场，驱动电机转子（8）和转轴（1）旋转，圆光栅（9）反馈角度信号，实现转轴（1）的精确定位。
2.根据权利要求1所述的环形狭缝节流的气浮转台，其特征在于：所述的止推节流器（2）由止推节流环和止推节流座过盈装配而成，止推节流环上设置有环形台阶，形成环形狭缝节流，狭缝宽度为10μm～30μm，深度为3mm～5mm。
3.根据权利要求1所述的环形狭缝节流的气浮转台，其特征在于：所述的径向节流器（4）由上径向节流环、下径向节流环与径向节流座过盈装配而成，上径向节流环、下径向节流环上设置有环形台阶，形成环形狭缝节流，狭缝宽度为10μm～30μm，深度为3mm～5mm。
4.根据权利要求1所述的环形狭缝节流的气浮转台，其特征在于：所述的环形狭缝与供气管道连接。
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