[发明专利]基于偏振光束的自参考准直光路系统及计算被测角度方法在审
| 申请号： | 201710908000.5 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107643055A | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 卢振华;王先华;贾森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于偏振光束的自参考准直光路系统及利用该系统计算被测角度的方法。将光源发出的光准直为平行光束后照射十字分化板；偏振分光棱镜将照射十字分化板后的光束分成两束偏振态相互垂直的线偏振光，偏振方向为水平的线偏振光经过1/4波片、平面反射镜后经参考反射面反射沿原路返回至偏振分光棱镜，再经过偏振分光棱镜反射进入接收光路系统成像；偏振方向为垂直的线偏振光经过1/4波片、窗口玻璃和被测反射面，经被测反射面反射后原路返回偏振分光棱镜，再经过偏振分光棱镜透射进入接收光路系统成像。利用被测面反射成像和参考面反射成像的位置差计算被测角度，有效抑制了激光光束指向变化对测量结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 偏振 光束 参考 准直光路 系统 计算 角度 方法 | ||
【主权项】：
一种基于偏振光束的自参考准直光路系统，其特征在于：包括光源(9)、第一准直光学系统、十字分划板(11)、偏振分光棱镜(12)、被测光路系统、参考光路系统及接收光路系统；所述第一准直光学系统用于将光源(9)发出的光准直为平行光束后照射十字分划板(11)；所述偏振分光棱镜(12)用于将照射十字分划板(11)后的光束分成两束偏振态相互垂直的线偏振光，其中一束线偏振光透射过偏振分光棱镜(12)后变为偏振方向为水平的线偏振光，另一束线偏振光经偏振分光棱镜(12)反射后变为垂直的线偏振光；所述参考光路系统位于偏振方向为水平的线偏振光的出射光路中，所述被测光路系统位于偏振方向为垂直的线偏振光的出射光路中；所述参考光路系统包括沿光路依次设置的1/4波片(4)、平面反射镜(3)及参考反射面(2)，偏振方向为水平的线偏振光经过1/4波片(4)、平面反射镜(3)后经参考反射面(2)反射沿原路返回至偏振分光棱镜(12)，再经过偏振分光棱镜(12)反射进入接收光路系统成像；所述被测光路系统包括沿光路依次设置的1/4波片(4)、窗口玻璃(7)及被测反射面(1)，偏振方向为垂直的线偏振光经过1/4波片(4)、窗口玻璃(7)和被测反射面(1)，经被测反射面(1)反射后原路返回偏振分光棱镜(12)，再经过偏振分光棱镜(12)透射进入接收光路系统成像。
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