[发明专利]沉积装置及利用其的有机物沉积方法有效
| 申请号： | 201710904054.4 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107881464B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 高晙赫;姜敏求 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及沉积装置以及利用该沉积装置的沉积方法，具体地，沉积装置包括掩模单元、第一板和施压单元，掩模单元布置在上述掩模单元上并与上述掩模单元隔开，施压单元与上述第一板独立地布置并且沿着上述第一板的一表面移动并对目标衬底的表面的一部分区域施压，其中上述第一板包括施压固定部，施压固定部布置在上述第一板的一表面上并且供上述施压单元联接。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 利用 有机物 方法 | ||
【主权项】：
沉积装置，包括：掩模单元；第一板，布置在所述掩模单元上并且与所述掩模单元隔开；以及施压单元，布置成独立于所述第一板，并且沿着所述第一板的一表面移动并对目标衬底的表面的一部分区域施压，其中，所述第一板包括施压固定部，所述施压固定部布置在所述第一板的一表面上并且供所述施压单元联接。
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