[发明专利]压电超声换能器及其制备方法有效
申请号: | 201710901235.1 | 申请日: | 2017-09-28 |
公开(公告)号: | CN107812691B | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 朱雁青;兰晓东;童贝;李杨 | 申请(专利权)人: | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06 |
代理公司: | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人: | 陈巍巍 |
地址: | 新加坡宏茂桥65*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种压电超声换能器及其制备方法,所述压电超声换能器包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜、与所述振膜相连的压电膜,所述压电膜包括靠近所述振膜的第一表面及远离所述振膜的第二表面,所述压电超声换能器还包括设置于所述第一表面的第一电极及设置于所述第二表面的第二电极,所述振膜靠近所述基底一侧的表面设置有质量块,所述质量块置于所述基底的空腔中。本发明的压电超声换能器可以提高产品的声压。 | ||
搜索关键词: | 压电 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种压电超声换能器,包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜、与所述振膜相连的压电膜,所述压电膜包括靠近所述振膜的第一表面及远离所述振膜的第二表面,所述压电超声换能器还包括设置于所述第一表面的第一电极及设置于所述第二表面的第二电极,其特征在于,所述振膜靠近所述基底一侧的表面设置有质量块,所述质量块置于所述基底的空腔中。
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