[发明专利]玻璃基板的制造方法、及玻璃基板制造装置

摘要

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。本发明的课题在于降低澄清管内的氧气浓度而抑制铂族金属的异物混入至熔融玻璃中。本发明的玻璃基板的制造方法具备使用澄清管进行熔融玻璃的澄清的澄清步骤。在澄清步骤中，以在熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使熔融玻璃流向澄清管内，一边进行澄清。澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出气相空间内的气体；及供给孔，向气相空间内供给对熔融玻璃呈惰性的气体；通气孔及供给孔在熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置。在澄清步骤中，以气相空间内的氧气浓度成为目标值以下的方式从供给孔供给惰性气体，并且在氧气浓度超过高于目标值的容许值的情况下，使来自通气孔的气体的排出量少于氧气浓度为容许值以下的情况下的供给量。

主权项

一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，且在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式从所述供给孔供给所述惰性气体时，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第1容许值的情况下，从所述通气孔向所述气相空间供给所述惰性气体。