[发明专利]玻璃基板的制造方法、及玻璃基板制造装置

说明书

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。本发明的课题在于降低澄清管内的氧气浓度而抑制铂族金属的异物混入至熔融玻璃中。本发明的玻璃基板的制造方法具备使用澄清管进行熔融玻璃的澄清的澄清步骤。在澄清步骤中，以在熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使熔融玻璃流向澄清管内，一边进行澄清。澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出气相空间内的气体；及供给孔，向气相空间内供给对熔融玻璃呈惰性的气体；通气孔及供给孔在熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置。在澄清步骤中，以气相空间内的氧气浓度成为目标值以下的方式从供给孔供给惰性气体，并且在氧气浓度超过高于目标值的容许值的情况下，使来自通气孔的气体的排出量少于氧气浓度为容许值以下的情况下的供给量。

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。

背景技术

玻璃基板通常是经过从玻璃原料产生熔融玻璃后，将熔融玻璃成形为玻璃基板的步骤来制造。在所述步骤中，包含将熔融玻璃所内包的微小气泡去除的步骤(以下，也称为澄清)。澄清是通过一边对澄清槽的本体(澄清管)进行加热，一边使调配了澄清剂的熔融玻璃通过该澄清管，并通过澄清剂的氧化还原反应将熔融玻璃中的泡去除而进行。更具体来说，进而提高经粗熔解后的熔融玻璃的温度，使澄清剂发挥功能而使泡浮起消泡后，降低温度，由此使熔融玻璃吸收未完全消泡而残留的相对较小的泡。也就是说，澄清包含使泡浮起消泡的消泡处理及使熔融玻璃吸收小泡的吸收处理。

与成形前的高温熔融玻璃相接的部件的内壁必须根据与该部件相接的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等而由适当的材料构成。例如，构成所述澄清管的材料通常使用铂、铂合金等铂族金属(专利文献1)。铂族金属的熔点高，对熔融玻璃的耐腐蚀性也优异。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-111533号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

在熔融玻璃通过将铂族金属用于内壁面的澄清管时，存在于经加热的内壁面上的与气相空间相接的部分，铂族金属被氧化而挥发的情况。另一方面，存在铂族金属的氧化物在温度局部降低的澄清管的位置被还原而附着在内壁面的情况。有附着在内壁面的铂族金属掉落而混入熔融玻璃中，且以异物的形式残留在玻璃基板内的担忧。有包含此种异物的玻璃基板作为缺陷品进行处理的担忧。

为了抑制此种铂族金属的挥发，已知有使惰性气体流向澄清管内而降低氧气浓度。可是，得知存在即便使惰性气体流动氧气浓度也不会下降的情况。

本发明的目的在于降低澄清管内的氧气浓度而抑制铂族金属的异物混入至熔融玻璃中。

[解决问题的技术手段]

本发明包含以下方式的玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。

(1)：一种玻璃基板的制造方法，其特征在于具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，

在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，

所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，

在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式从所述供给孔供给所述惰性气体时，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第1容许值的情况下，从所述通气孔向所述气相空间供给所述惰性气体。