[发明专利]玻璃基板的制造方法、及玻璃基板制造装置

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，且

在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，

所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，

在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式从所述供给孔供给所述惰性气体的控制中，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第1容许值的情况下，从所述通气孔向所述气相空间供给所述惰性气体。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在从所述供给孔供给所述惰性气体时，于在所述氧气浓度超过所述第1容许值之前超过作为低于所述第1容许值且高于所述目标值的氧气浓度的第2容许值的情况下，使来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量多于所述氧气浓度为所述目标值以下的情况下的来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其利用随着所述澄清管的使用而形成在所述壁部的开孔的位置与因所述开孔而引起变化的所述氧气浓度的变化之间的预先求出的关系，并根据所述通气孔中的所述氧气浓度的测量值的变化的信息特定出所述开孔的位置。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其进而从特定出所述位置的开孔向所述气相空间内供给所述惰性气体。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在以所述氧气浓度成为目标值以下的方式以经控制的供给量从所述供给孔供给所述惰性气体，且以经控制的排出量从所述通气孔排出所述气体时，在所述氧气浓度超过所述第1容许值的情况下，减少来自所述通气孔的所述气体的排出量。

6.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，且

在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，

所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，

在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式以经控制的供给量从所述供给孔供给所述惰性气体，且以经控制的排出量从所述通气孔排出所述气体的控制中，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第3容许值的情况下，减少来自所述通气孔的所述气体的排出量。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在减少来自所述通气孔的所述气体的排出量后，使来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量多于所述氧气浓度为所述目标值以下的情况下的供给量。

8.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其以减少从随着所述澄清管的使用而形成在所述壁部的开孔流入至所述气相空间内的外部气体的流入量的方式减少所述气体的排出量。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板的制造方法，其利用所述开孔的位置与因所述开孔而引起变化的所述氧气浓度的变化之间的预先求出的关系，并根据所述通气孔中的所述氧气浓度的测量值的变化的信息特定出所述开孔的位置。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板的制造方法，其根据沿着所述流动方向的所述开孔与所述通气孔的距离的大小调节所述气体的排出量。