[发明专利]一种方便散热的靶材安装装置有效
| 申请号： | 201710894600.0 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107699857B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 武晔辉 | 申请（专利权）人： | 南京宝丽晶电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16 |
| 代理公司： | 32251 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 成园玲 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种方便散热的靶材安装装置，包括底座，所述底座的内腔下侧壁固定安装有水箱，所述水箱的上侧壁固定安装有水泵，所述水泵的上下侧壁均固定安装有吸水管，所述立板的右侧壁固定安装有固定块，所述滑块的前侧壁固定安装有锁紧块，所述锁紧块的上侧壁固定安装有固定板，所述固定块的前侧壁中部开设有通孔，所述通孔的内侧壁前侧固定安装有金属板，所述金属板的后侧壁固定安装有圆柱块，所述圆柱块的外侧壁缠绕有冷却管，本发明通过滑道、滑块、锁紧块和固定板的结构，可以固定锁紧靶材，且方便更换，通过金属板、圆柱块、冷却管和散热板的结构，可以将工作时产生的热导出散掉。 | ||
| 搜索关键词： | 金属板 锁紧块 圆柱块 固定板 固定块 冷却管 前侧壁 上侧壁 水箱 靶材 滑块 通孔 底座 水泵 安装装置 方便更换 固定锁 后侧壁 内侧壁 散热板 外侧壁 吸水管 下侧壁 右侧壁 散热 侧壁 导出 滑道 立板 内腔 缠绕 | ||
【主权项】：
1.一种方便散热的靶材安装装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的内腔下侧壁固定安装有水箱（2），所述水箱（2）的上侧壁固定安装有水泵（3），所述水泵（3）通过导线连接外部电源，所述水泵（3）的上下侧壁均固定安装有吸水管（4），所述水箱（2）的上侧壁中间固定安装有入水口（5），所述入水口（5）的上侧壁固定安装有进水管（6），所述底座（1）的上侧壁左右两侧均固定安装有立板（7），所述立板（7）的右侧壁固定安装有固定块（8），所述固定块（8）的前侧壁开设有滑道（9），所述滑道（9）的内侧壁插入有滑块（10），所述滑块（10）的前侧壁固定安装有锁紧块（11），所述锁紧块（11）的上侧壁固定安装有固定板（12），所述固定块（8）的前侧壁中部开设有通孔（13），所述通孔（13）的内侧壁前侧固定安装有金属板（14），所述金属板（14）的后侧壁固定安装有圆柱块（15），所述圆柱块（15）的外侧壁缠绕有冷却管（16），所述吸水管（4）的上侧壁固定安装有冷却管（16），所述固定块（8）的下侧壁开设有圆柱槽（17），所述冷却管（16）的底端固定安装有排水管（18），所述排水管（18）穿过圆柱槽（17），所述圆柱块（15）的后侧壁固定安装有散热板（19）。/n
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