[发明专利]一种方便散热的靶材安装装置

说明书

本发明公开了一种方便散热的靶材安装装置，包括底座，所述底座的内腔下侧壁固定安装有水箱，所述水箱的上侧壁固定安装有水泵，所述水泵的上下侧壁均固定安装有吸水管，所述立板的右侧壁固定安装有固定块，所述滑块的前侧壁固定安装有锁紧块，所述锁紧块的上侧壁固定安装有固定板，所述固定块的前侧壁中部开设有通孔，所述通孔的内侧壁前侧固定安装有金属板，所述金属板的后侧壁固定安装有圆柱块，所述圆柱块的外侧壁缠绕有冷却管，本发明通过滑道、滑块、锁紧块和固定板的结构，可以固定锁紧靶材，且方便更换，通过金属板、圆柱块、冷却管和散热板的结构，可以将工作时产生的热导出散掉。

技术领域

本发明涉及靶材安装技术领域，具体为一种方便散热的靶材安装装置。

背景技术

在大规模集成电路制造中，一般通过物理气相沉积溅射靶材方法在硅片上形成一层金属薄膜，靶材在溅射过程中通常和背板通过焊料焊接起来形成溅射靶材组件，所述背板在所述靶材组件组装及溅射过程中起到支撑及传导热量的作用，但是将靶材焊接在背板上，在更换靶材时会很麻烦，而且仅仅通过背板传热散热效率很低，如果能够设计一种不使用焊接可以方便更换靶材，且散热效果好的靶材安装装置，就可以解决此类问题，为此，我们提出一种方便散热的靶材安装装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种方便散热的靶材安装装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种方便散热的靶材安装装置，包括底座，所述底座的内腔下侧壁固定安装有水箱，所述水箱的上侧壁固定安装有水泵，所述水泵通过导线连接外部电源，所述水泵的上下侧壁均固定安装有吸水管，所述水箱的上侧壁中间固定安装有入水口，所述入水口的上侧壁固定安装有进水管，所述底座的上侧壁左右两侧均固定安装有立板，所述立板的右侧壁固定安装有固定块，所述固定块的前侧壁开设有滑道，所述滑道的内侧壁插入有滑块，所述滑块的前侧壁固定安装有锁紧块，所述锁紧块的上侧壁固定安装有固定板，所述固定块的前侧壁中部开设有通孔，所述通孔的内侧壁前侧固定安装有金属板，所述金属板的后侧壁固定安装有圆柱块，所述圆柱块的外侧壁缠绕有冷却管，所述吸水管的上侧壁固定安装有冷却管，所述固定块的下侧壁开设有圆柱槽，所述冷却管的底端固定安装有排水管，所述排水管穿过圆柱槽，所述圆柱块的后侧壁固定安装有散热板。

优选的，所述滑道共有两道，且两道滑道分别开设在固定块的前侧壁左右两侧，滑道的形状为凸字形滑道。

优选的，所述滑块共有两块，且两块滑块分别置于两道滑道内，滑块的前侧壁开设有矩形凸起，且滑块矩形凸起穿过滑道的凸字形滑道与锁紧块固定安装。

优选的，所述锁紧块的右侧壁开设有三角形凹槽，且锁紧块共有两个，以整个装置的中心线对称分布，在两块锁紧块的三角形凹槽中夹紧有靶材。

优选的，所述固定板共有四个，且四个固定板分别固定安装在两个锁紧块的上下侧壁上，两个同一水平面的固定板之间通过螺栓螺母连接。

优选的，所述散热板共有七块。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过滑道、滑块、锁紧块和固定板的结构，可以固定锁紧靶材，且方便更换，通过金属板、圆柱块、冷却管和散热板的结构，可以将工作时产生的热导出散掉。

附图说明

图1为本发明的主视图；

图2为本发明的左视图；

图3为本发明的后视图。

图中：1、底座，2、水箱，3、水泵、4、吸水管，5、入水口，6、进水管，7、立板，8、固定块，9、滑道，10、滑块，11、锁紧块，12、固定板，13、通孔，14、金属板，15、圆柱块，16、冷却管，17、圆柱槽，18、排水管，19、散热板，20、靶材。

具体实施方式