[发明专利]一种方便散热的靶材安装装置有效

专利信息
申请号: 201710894600.0 申请日: 2017-09-28
公开(公告)号: CN107699857B 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 武晔辉 申请(专利权)人: 南京宝丽晶电子科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/16
代理公司: 32251 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 成园玲
地址: 210000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 金属板 锁紧块 圆柱块 固定板 固定块 冷却管 前侧壁 上侧壁 水箱 靶材 滑块 通孔 底座 水泵 安装装置 方便更换 固定锁 后侧壁 内侧壁 散热板 外侧壁 吸水管 下侧壁 右侧壁 散热 侧壁 导出 滑道 立板 内腔 缠绕
【权利要求书】:

1.一种方便散热的靶材安装装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的内腔下侧壁固定安装有水箱(2),所述水箱(2)的上侧壁固定安装有水泵(3),所述水泵(3)通过导线连接外部电源,所述水泵(3)的上下侧壁均固定安装有吸水管(4),所述水箱(2)的上侧壁中间固定安装有入水口(5),所述入水口(5)的上侧壁固定安装有进水管(6),所述底座(1)的上侧壁左右两侧均固定安装有立板(7),所述立板(7)的右侧壁固定安装有固定块(8),所述固定块(8)的前侧壁开设有滑道(9),所述滑道(9)的内侧壁插入有滑块(10),所述滑块(10)的前侧壁固定安装有锁紧块(11),所述锁紧块(11)的上侧壁固定安装有固定板(12),所述固定块(8)的前侧壁中部开设有通孔(13),所述通孔(13)的内侧壁前侧固定安装有金属板(14),所述金属板(14)的后侧壁固定安装有圆柱块(15),所述圆柱块(15)的外侧壁缠绕有冷却管(16),所述吸水管(4)的上侧壁固定安装有冷却管(16),所述固定块(8)的下侧壁开设有圆柱槽(17),所述冷却管(16)的底端固定安装有排水管(18),所述排水管(18)穿过圆柱槽(17),所述圆柱块(15)的后侧壁固定安装有散热板(19)。

2.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置,其特征在于:所述滑道(9)共有两道,且两道滑道(9)分别开设在固定块(8)的前侧壁左右两侧,滑道(9)的形状为凸字形滑道。

3.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置,其特征在于:所述滑块(10)共有两块,且两块滑块(10)分别置于两道滑道(9)内,滑块(10)的前侧壁开设有矩形凸起,且滑块(10)矩形凸起穿过滑道(9)的凸字形滑道与锁紧块(11)固定安装。

4.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置,其特征在于:所述锁紧块(11)的右侧壁开设有三角形凹槽,且锁紧块(11)共有两个,以整个装置的中心线对称分布,在两块锁紧块(11)的三角形凹槽中夹紧有靶材(20)。

5.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置,其特征在于:所述固定板(12)共有四个,且四个固定板(12)分别固定安装在两个锁紧块(11)的上下侧壁上,两个同一水平面的固定板(12)之间通过螺栓螺母连接。

6.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置,其特征在于:所述散热板(19)共有七块。

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