[发明专利]MEMS设备有效
| 申请号： | 201710882261.4 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107872760B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | A·S·亨金;T·H·胡克斯特拉 | 申请（专利权）人： | 思睿逻辑国际半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;陈璐 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请描述了一种MEMS换能器，包括：一个基底；一个初级膜，所述初级膜以相对于所述基底固定的关系被支撑；一个次级膜，所述次级膜被设置在一个覆盖所述初级膜的平面中。所述次级膜通过一个基本刚性的联接结构机械地联接到所述初级膜。一个刚性的支撑板可以置于所述初级膜和所述次级膜之间。 | ||
| 搜索关键词： | mems 设备 | ||
【主权项】：
一种MEMS换能器，包括：一个基底；一个初级膜，所述初级膜以相对于所述基底固定的关系被支撑；至少一个次级膜，所述次级膜被设置在一个覆盖所述初级膜的平面中，其中所述次级膜被机械地联接到所述初级膜。
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