[发明专利]一种硅片水中分片机构在审
| 申请号： | 201710879430.9 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109551650A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 甄辉;齐风;尚杰;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300380 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片水中分片机构，包括水中供料槽体，水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置和摩擦吸着装置，其中，定位及升降装置，用于将叠在一起的硅片定位到指定位置；出水分片装置，用于分离硅片。本发明的有益效果是能够实现硅片水中分片的自动化作业，解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，具有稳定性高、产能大、节省人员等特点，具有很高的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 水中 分片机构 分片装置 升降装置 供料槽 出水 自动化作业 易碎 吸着装置 依次设置 插片 产能 摩擦 体内 污染 | ||
【主权项】：
1.一种硅片水中分片机构，包括水中供料槽体，其特征在于，所述水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置，其中：所述定位及升降装置，用于将叠在一起的硅片定位到指定位置；所述出水分片装置，用于分离叠在一起的硅片。
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