[发明专利]一种晶硅太阳能电池表面钝化的方法

摘要

本发明公开了一种晶硅太阳能电池表面钝化的方法，将晶硅衬底在氧气中氧化钝化后，采用含氢气的气体对所述氧气进行清扫处理，使晶硅衬底处于氢气的气体氛围中，最后在氢气的气体氛围中退火，在退火过程中，氢气能够进一步对硅衬底进行氢化钝化，中和晶硅衬底表面的悬挂键，使得晶硅衬底具有一个更好的钝化效果，采用本发明的方法获得的晶硅衬底用于制备太阳能电池，能够使太阳能电池具有更大的开路电压，同时提高了太阳能电池的使用寿命。

主权项

一种晶硅太阳能电池表面钝化的方法，其特征在于，包括：将晶硅衬底在氧气的气体氛围中进行氧化钝化；采用含氢气的气体对所述氧气进行清扫处理，使所述晶硅衬底处于所述氢气的气体氛围中；继续在所述氢气的气体氛围中进行退火，并对所述晶硅衬底进行氢化钝化。