[发明专利]减压干燥系统和减压干燥方法有效
| 申请号： | 201710863784.4 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107872914B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 佐田彻也;那须俊文;植田稔彦;岛村明典 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够提高通过量的减压干燥系统。该减压干燥系统包括：第一减压干燥装置，其包括：收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板的第一处理容器；在上述第一处理容器的内部保持上述基板的第一基板保持部；和将上述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，在气压比大气压低的减压气氛中使上述溶剂从上述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从上述第一减压干燥装置搬送来的上述基板的第二处理容器；在上述第二处理容器的内部保持上述基板的第二基板保持部；和将上述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，在气压比大气压低的减压气氛中使残留于上述涂敷层的上述溶剂蒸发。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种减压干燥系统，其特征在于，包括：第一减压干燥装置，其包括：第一处理容器，其收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在所述第一处理容器的内部保持所述基板的第一基板保持部；和将所述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，所述第一减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使所述溶剂从所述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从所述第一减压干燥装置搬送来的所述基板的第二处理容器；在所述第二处理容器的内部保持所述基板的第二基板保持部；和将所述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，所述第二减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使残留于所述涂敷层的所述溶剂蒸发。
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