[发明专利]减压干燥系统和减压干燥方法

说明书

本发明提供能够提高通过量的减压干燥系统。该减压干燥系统包括：第一减压干燥装置，其包括：收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板的第一处理容器；在上述第一处理容器的内部保持上述基板的第一基板保持部；和将上述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，在气压比大气压低的减压气氛中使上述溶剂从上述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从上述第一减压干燥装置搬送来的上述基板的第二处理容器；在上述第二处理容器的内部保持上述基板的第二基板保持部；和将上述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，在气压比大气压低的减压气氛中使残留于上述涂敷层的上述溶剂蒸发。

技术领域

本发明涉及减压干燥系统和减压干燥方法。

背景技术

一直以来，已知作为利用有机EL(Electroluminescence)发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。使用有机发光二极管的有机EL显示器具有薄型轻量且低电力消耗，并且响应速度、视野角、对比度比方面优异等优点。因此，近年来作为次世代的平板显示器(FPD)受到关注。

有机发光二极管具有在基板上形成的阳极、以阳极为基准地设置在基板的相反侧的阴极和设置于阳极与阴极之间的有机层。有机层例如从阳极侧向阴极侧按下述顺序依次具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。

空穴注入层、空穴输送层、发光层等的形成中使用喷墨方式的涂敷装置。涂敷装置通过将含有有机材料和溶剂的涂敷液涂敷在基板上而形成涂敷层。通过对该涂敷层进行减压干燥、烧制，形成空穴注入层等(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-77966号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

图1是表示现有例的减压干燥装置的处理容器的内部的气压的时间变化的图。当在时刻t0开始减压时，处理容器的内部的气压从大气压起急剧下降，之后，从时刻t1到时刻t2成为大致一定值。在从时刻t1到时刻t2的期间，包含于涂敷层的溶剂的大部分蒸发。之后，处理容器的内部的气压逐渐下降，从时刻t3起成为大致一定值。在时刻t3之前的期间，涂敷层的轮廓大致形成。接着，在长时间的期间中，处理容器的内部的气压维持得较低，残留于涂敷层的溶剂逐渐蒸发。从自减压开始起的经过时间到达设定时间的时刻t4到时刻t5，处理容器的内部的气压回到大气压。

现有技术中，减压干燥的处理时间长，减压干燥成为制造线的瓶颈。

本发明鉴于上述课题而提出，以提供能够提高通过量的减压干燥系统为主要目的。

用于解决技术问题的技术方案

为了解决上述课题，根据本发明的一个方式，提供一种减压干燥系统，其包括：第一减压干燥装置，其包括：第一处理容器，其收纳形成有包括有机材料和溶剂的涂敷层的基板；在上述第一处理容器的内部保持上述基板的第一基板保持部；和将上述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，上述第一减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使上述溶剂从上述涂敷层蒸发；和第二减压干燥装置，其包括：收纳从上述第一减压干燥装置搬送来的上述基板的第二处理容器；在上述第二处理容器的内部保持上述基板的第二基板保持部；和将上述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，上述第二减压干燥装置在气压比大气压低的减压气氛中使残留于上述涂敷层的上述溶剂蒸发。

发明效果

根据本发明的一个方式能够提供能够提高通过量的减压干燥系统。

附图说明

图1是表示现有例的减压干燥装置的处理容器的内部的气压的时间变化的图。