[发明专利]具备机械振动抑制功能的驱动装置以及系统

摘要

本发明提供一种具备机械振动抑制功能的驱动装置以及系统，其不需要复杂的同步指令，能够抑制伴随机械的动作而产生的振动。驱动装置具备：减振器侧线性电动机、驱动侧线性电动机、检测驱动侧线性电动机的可动部相对于机械基座的位置即第一位置的第一检测单元、检测减振器侧线性电动机的可动部相对于机械基座的位置即第二位置的第二检测单元、检测驱动侧线性电动机的可动部相对于减振器侧线性电动机的可动部的位置即第三位置的第三检测单元、基于第一位置和第三位置进行驱动侧线性电动机的控制的驱动侧控制单元、通过基于第二位置进行减振器侧线性电动机的控制来使减振器侧线性电动机作为减振器发挥功能的减振器侧控制单元。

主权项

1.一种具备机械振动抑制功能的驱动装置，其特征在于，具备：减振器侧线性电动机，其具有固定部和可动部，所述固定部被固定在机械基座；驱动侧线性电动机，其具有可动部和在所述减振器侧线性电动机的可动部固定的固定部；第一检测单元，其检测所述驱动侧线性电动机的可动部相对于所述机械基座的位置即第一位置；第二检测单元，其检测所述减振器侧线性电动机的可动部相对于所述机械基座的位置即第二位置；第三检测单元，其检测所述驱动侧线性电动机的可动部相对于所述减振器侧线性电动机的可动部的位置即第三位置；驱动侧控制单元，其基于与驱动用途对应的位置指令、所述第一检测单元检测出的第一位置、所述第三检测单元检测出的第三位置进行所述驱动侧线性电动机的控制；减振器侧控制单元，其通过基于与零的值对应的位置指令、所述第二检测单元检测出的第二位置进行所述减振器侧线性电动机的控制，使所述减振器侧线性电动机作为减振器发挥功能。