[发明专利]具备机械振动抑制功能的驱动装置以及系统

说明书

本发明提供一种具备机械振动抑制功能的驱动装置以及系统，其不需要复杂的同步指令，能够抑制伴随机械的动作而产生的振动。驱动装置具备：减振器侧线性电动机、驱动侧线性电动机、检测驱动侧线性电动机的可动部相对于机械基座的位置即第一位置的第一检测单元、检测减振器侧线性电动机的可动部相对于机械基座的位置即第二位置的第二检测单元、检测驱动侧线性电动机的可动部相对于减振器侧线性电动机的可动部的位置即第三位置的第三检测单元、基于第一位置和第三位置进行驱动侧线性电动机的控制的驱动侧控制单元、通过基于第二位置进行减振器侧线性电动机的控制来使减振器侧线性电动机作为减振器发挥功能的减振器侧控制单元。

技术领域

本发明涉及一种具备抑制机械振动的机械振动抑制功能的驱动装置、以及具备抑制机械振动的机械振动抑制功能的系统。

背景技术

以往，为了使用于加工工件的被驱动体往复移动，广泛地使用组合了进行旋转运动的伺服电动机和将该旋转运动变换为直线运动的滚珠丝杠的机构。然而，近年来存在希望通过高的加速度使被驱动体往复移动的要求，根据这种情况一般使用能够通过高的加速度使被驱动体往复移动的线性电动机。

关于这一点，在通过线性电动机使被驱动体往复移动时，会有随着该往复移动产生噪音、或者产生振动的问题。特别是在由于产生的振动使被驱动体或工件摆动时，产生被驱动体与工件之间的位置关系发生变动，加工精度降低的问题。

考虑到该问题，专利文献1和专利文献2公开了用于抑制噪音和振动的产生的技术的一个例子。

在专利文献1公开的技术中，准备两个通过线性电动机驱动的滑块，并在基座上设置的直线延伸的轨道上背靠背地设置该两个滑块。并且，通过使两个滑块在轨道上互相反向地往复移动，使基于这两个滑块往复移动而产生的加速度的反作用力相互抵消。

具体来说，通过分别对两个滑块赋予指令，使两个滑块在轨道上向互相离开的方向同时移动，或者在轨道上向相互接近的方向同时移动。由此，两个滑块分别产生的反作用力相互抵消，因此能够降低两个滑块产生的反作用力，并能够抑制因两个滑块产生的反作用力而产生的噪音和振动。

另外，在专利文献2公开的技术中也与专利文献1一样，准备两个线性可动部，并赋予指令使得各个线性可动部向相互抵消力的方向移动。由此，能够抑制振动和噪音的产生。

如上所述，通过利用专利文献1和专利文献2公开的技术，能够抑制由于线性可动部的往复运动而产生的噪音和振动。然而，为了利用这些技术，需要持续赋予分别与两个线性可动部相对应的各自不同的两个指令。

例如，为了利用专利文献1公开的技术，需要分别针对两个滑块持续赋予用于使两个滑块向互相相反的方向移动的指令。而且，不是单纯地向相反方向移动，还需要使各个相反方向的移动同步，所以难以生成用于取得这样同步的同步指令来进行控制。

并且，在专利文献1公开的技术中，假设使两个相同结构的滑块这样的形状和重量相同的物体进行移动，但是在专利文献2公开的技术中，假设使平台和平板这样的形状和重量不同的物体移动。在这样重量等不同时，需要考虑重量比等来分别对平台和平板赋予同步指令，因此基于同步指令的控制更加困难。

专利文献1：专利第4638980号公报

专利文献2：特开2001-195130号公报

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种具备机械振动抑制功能的驱动装置以及具备机械振动抑制功能的系统，其不需要基于复杂的同步指令的控制，能够抑制伴随机械的动作而产生的振动。