[发明专利]一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法

摘要

本发明涉及一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法。一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置，包括移动上下料装置和检测装置，还包括安装在检测装置上的对中及斜度测量组件和长度测量组件，另外本发明还提供了一种单晶硅棒长度和斜度检测方法。第一步，上料；第二步，检测斜度：检测装置启动，通过对中及斜度测量组件检测单晶硅棒截面斜度；第三步，检测长度；第四步，下料：将单晶硅棒通过移动上下料平台运出检测装置。本发明的一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法有效地解决了传统手工测量单晶硅棒效率低的问题，采用了多点采样的检测方式，大大地提高了测量精度，并且使用全自动检测装置显著地降低生产人工成本。

主权项

一种单晶硅棒长度和斜度检测装置，包括移动上下料装置和检测装置(1)，其特征在于：还包括安装在检测装置(1)上的对中及斜度测量组件和长度测量组件，所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座(5)，丝杆电机(6)，丝杆(11)，手爪(12)，手爪滑块安装座(9)，斜度测量传感器(13)，水平电机座(7)；所述的检测装置(1)上固定连接水平导轨座(5)，所述水平导轨座(5)下方两侧分别固定有导轨(10)和水平电机座(7)，该水平电机座(7)上安装有丝杆电机(6)；所述导轨(10)两端分别装有与之相配合的滑块(8)，与滑块(8)固定连接的手爪滑块安装座(9)和与手爪滑块安装座(9)固定连接的手爪(12)，所述手爪(12)为上下可调机构，手爪(12)上装有斜度测量传感器(13)，该斜度测量传感器(13)用于在手爪(12)的带动下贴合待测量的晶棒端面；所述丝杆电机(6)通过丝杆(11)分别与导轨(10)两端的手爪滑块安装座(9)连接，所述手爪滑块安装座(9)之间的丝杆(11)上设有联轴器(14)，该联轴器(14)用于使其两侧的丝杆(11)旋转方向相反；所述长度测量组件安装在检测装置(1)两侧，所述长度测量组件包括旋转电机(17)，可调安装组件(16)和测距光电传感器(15)；所述可调安装组件(16)安装在检测装置(1)，可调安装组件(16)相对于检测装置(1)可上下调节，所述的可调节安装组件(16)上固定连接旋转电机(17)，所述测距光电传感器(15)通过联轴器与旋转电机(17)连接，该旋转电机(17)带动测距光电传感器(15)同步旋转，所述测距光电传感器(15)用于测量晶棒的长度。