[发明专利]一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法

权利要求书

1.一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置，包括移动上下料装置和检测装置(1)，其特征在于：还包括安装在检测装置(1)上的对中及斜度测量组件和长度测量组件，

所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座(5)，丝杆电机(6)，丝杆(11)，手爪(12)，手爪滑块安装座(9)，斜度测量传感器(13)，水平电机座(7)；所述的检测装置(1)上固定连接水平导轨座(5)，所述水平导轨座(5)下方两侧分别固定有导轨(10)和水平电机座(7)，该水平电机座(7)上安装有丝杆电机(6)；所述导轨(10)两端分别装有与之相配合的滑块(8)，与滑块(8)固定连接的手爪滑块安装座(9)和与手爪滑块安装座(9)固定连接的手爪(12)，所述手爪(12)为上下可调机构，手爪(12)上装有斜度测量传感器(13)，该斜度测量传感器(13)用于在手爪(12)的带动下贴合待测量的晶棒端面；所述丝杆电机(6)通过丝杆(11)分别与导轨(10)两端的手爪滑块安装座(9)连接，所述手爪滑块安装座(9)之间的丝杆(11)上设有联轴器(14)，该联轴器(14)用于使其两侧的丝杆(11)旋转方向相反；

所述长度测量组件安装在检测装置(1)两侧，所述长度测量组件包括旋转电机(17)，可调安装组件(16)和测距光电传感器(15)；所述可调安装组件(16)安装在检测装置(1)，可调安装组件(16)相对于检测装置(1)可上下调节，所述的可调节安装组件(16)上固定连接旋转电机(17)，所述测距光电传感器(15)通过联轴器与旋转电机(17)连接，该旋转电机(17)带动测距光电传感器(15)同步旋转，所述测距光电传感器(15)用于测量晶棒的长度；

所述单晶硅棒长度和斜度检测装置的检测方法包括以下步骤：

第一步，上料：将单晶硅棒放置在移动上下料装置上，通过移动上下料装置输送到检测装置(1)内；

第二步，检测斜度：检测装置(1)启动，通过对中及斜度测量组件检测单晶硅棒截面斜度；

第三步，检测长度：检测装置(1)启动，通过长度测量组件检测单晶硅棒的长度；

第四步，下料：将单晶硅棒通过移动上下料平台运出检测装置(1)

其中，第一步中上料具体包括以下步骤：

第1步，先用助力机械臂将单晶硅棒搬上移动上下料装置上的倒等边梯形凹槽平台上放置；

第2步，启动传送装置，移动上下料装置移动至检测装置(1)工位；

第3步，移动上下料装置底部推顶气缸启动，将倒等边梯形凹槽平台上升至与检测装置(1)传送带齐平，然后上下料装置底部传送电机和检测装置(1)传送带同时启动，以0.5m/s的速度将倒等边梯形凹槽平台输送进检测装置(1)内。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的丝杆(11)包括左夹紧丝杆和右夹紧丝杆，左夹紧丝杆和右夹紧丝杆之间通过联轴器(14)连接，与所述丝杆(11)连接的丝杆电机(6)工作时，左夹紧丝杆和右夹紧丝杆通过联轴器实现反向旋转。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的手爪(12)通过二级铰链和所述斜度测量传感器(13)连接，可使所述的斜度测量传感器(13)绕X轴和Y轴旋转，在用手爪(12)对中待检测晶棒的过程中，二级铰链可以使斜度测量传感器(13)与晶棒端面完全贴合，测量端面斜度。