[发明专利]一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法

说明书

本发明涉及一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法。一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置，包括移动上下料装置和检测装置，还包括安装在检测装置上的对中及斜度测量组件和长度测量组件，另外本发明还提供了一种单晶硅棒长度和斜度检测方法。第一步，上料；第二步，检测斜度：检测装置启动，通过对中及斜度测量组件检测单晶硅棒截面斜度；第三步，检测长度；第四步，下料：将单晶硅棒通过移动上下料平台运出检测装置。本发明的一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法有效地解决了传统手工测量单晶硅棒效率低的问题，采用了多点采样的检测方式，大大地提高了测量精度，并且使用全自动检测装置显著地降低生产人工成本。

技术领域

本发明属于单晶硅加工领域，具体涉及一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法。

技术背景

目前，随着太阳能光伏行业的迅猛发展，导致作为主要原料的单晶硅棒的需求量大幅度增加，在进行单晶硅棒截断生产之后，需要对每根单晶硅棒的整体长度和截面斜度进行测量，以此计算可切割成硅片的有效长度。

但是现有技术中，对单晶硅棒的测量通常很不准确，很容易出现偏位或丈量标尺错位的现象，导致等量划分的难度很大，不仅费时费力，降低了加工效率，而且划分的准确度较低，容易出现误差，影响切割。

发明内容

本发明旨在提供一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法，以解决现有技术的单晶硅棒测量精度低误差大的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置

一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置，包括移动上下料装置和检测装置，还包括安装在检测装置上的对中及斜度测量组件和长度测量组件，

所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座，丝杆电机，丝杆，手爪，手爪滑块安装座，斜度测量传感器，水平电机座；所述的检测装置上固定连接水平导轨座，所述水平导轨座下方两侧分别固定有导轨和水平电机座，该水平电机座上安装有丝杆电机；所述导轨两端分别装有与之相配合的滑块，与滑块固定连接的手爪滑块安装座和与手爪滑块安装座固定连接的手爪，所述手爪为上下可调机构，手爪上装有斜度测量传感器，该斜度测量传感器用于在手爪的带动下贴合待测量的晶棒端面；所述丝杆电机通过丝杆分别与导轨两端的手爪滑块安装座连接，所述手爪滑块安装座之间的丝杆上设有联轴器，该联轴器用于使其两侧的丝杆旋转方向相反；

所述长度测量组件安装在检测装置两侧，所述长度测量组件包括旋转电机，可调安装组件和测距光电传感器(激光测距传感器)；所述可调安装组件安装在检测装置，可调安装组件相对于检测装置可上下调节，所述的可调节安装组件上固定连接旋转电机，所述测距光电传感器通过联轴器与旋转电机连接，该旋转电机带动测距光电传感器同步旋转，所述测距光电传感器用于测量晶棒的长度。

优选的，所述的丝杆包括左夹紧丝杆和右夹紧丝杆，左夹紧丝杆和右夹紧丝杆之间通过联轴器连接，与所述丝杆连接的丝杆电机工作时，左夹紧丝杆和右夹紧丝杆通过联轴器实现反向旋转。

优选的，所述的手爪通过二级铰链和所述斜度测量传感器连接，可使所述的斜度测量传感器绕X轴和Y轴旋转，在用手爪对中待检测晶棒的过程中，二级铰链可以使斜度测量传感器与晶棒端面完全贴合，测量端面斜度。

在导轨及丝杆的下方设置有链条机，链条机上设有托盘，将单晶硅棒放置在托盘上，由链条机将两者移动到指定的测量工位。

另外本发明还提供了一种单晶硅棒长度和斜度检测方法。

该方法包括以下步骤：

第一步，上料：将单晶硅棒放置在移动上下料装置上，通过移动上下料装置输送到检测装置内；

第二步，检测斜度：检测装置启动，通过对中及斜度测量组件检测单晶硅棒截面斜度；